離子源電源控制器由多個模組組成, 模組的特性取決于功率, 頻率, 電壓, 電流和控制方式, 大多數模組都滿足 CE 和 CoHS 標準.

連續性和穩定性: 能夠在緊急情況下比如載入高能量的等離子體, 短路, 電流過沖, 電壓過沖和功率過沖的情況, 實現保護功能. 確保在運行沉積和刻蝕工藝時進行不間斷的操作. 通過數顯的面板, 可以即時觀測和控制工藝參數和狀態資訊.

KRi 模塊化電源包括但不限于以下產品:
KRi 直流磁控濺射電源
無柵網霍爾電源
DC 直流電源集成中和器
RFICP 射頻電源

主要型號

技術參數

電源控制器型號

對應 KRi 離子源型號

RF1520-220 1500V & 2.0 output

RFICP 220, RFICP 380

RF1510-220 1500V & 1.0A output

RFICP 140, RFICP 220

RF1510-206 1500V & 1.0A output

RFICP 100, RFICP 140

RF1510-206 1500V & 1.0A output

RFICP 100

RF1502-206 1500V & 0.2A output

RFICP 40

KSC1212 100V & 13A Output

KDC 75, KDC 100, KDC 160

KSC 1202 100V & 10A output

KDC 10, KDC 40