上海伯東德國 ph-instruments 磁懸浮轉子真空計(SRG 轉子規)中國總代理, SRG 磁懸浮轉子真空計 CaliTorr 電子測量頭可以與真空規分離用于烘烤, SRG 轉子規 CaliTorr作為標準真空壓力源, 適用于真空計校準系統, 出廠隨附 DAkkS 校準證書.
SRG 磁懸浮轉子真空計 CaliTorr 基本規格
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測量原理 |
SRG 旋轉轉子技術 |
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測量范圍 |
10 mbar 至 5 x 10-7 mbar |
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精度 |
10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; |
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長期穩定性 |
< 每年 1.5 % 的漂移 |
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接液材料管/球 |
不銹鋼 |
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安裝方式 |
水平 |
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模擬接口 |
USB Type C, 藍牙, 15pin |
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數字接口 |
USB, 藍牙, RS 232, RS 485 |
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反應時間（快速模式） |
1 秒 |
ph-instruments 磁懸浮轉子真空計主要應用場景
半導體制造: 離子注入, 干法刻蝕, 物理 / 化學氣相沉積, 脫氣腔體 (SRG 轉子規擅長氫氣氛圍監測, 抵抗工藝薄膜沉積.)
低溫真空領域: 低溫儲罐, 液氫輸送管路, 真空絕熱系統 (SRG 轉子規分體無源傳感器, 適配超低溫環境.)
制藥真空凍干: Tri?Clover 衛生法蘭可選, 支持高溫滅菌, 長期穩定監測.
真空計校準系統: 計量級真空規, 用于對各類真空計傳感器 (包括電容薄膜規, 電離規, 電阻規, 熱偶規等）進行全量程, 高精度的計量檢定與校準.
科研高能物理, 離子束, 分子束裝置 (SRG 傳感器與電控單元遠距離分離, 屏蔽輻射與等離子干擾.)
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