上海伯東美國 KRi 電子中和器 Electron Sources, 提供幾種類型的低能量高電流電子源. 電子源技術(shù)包含浸入式熱離子燈絲和非浸入式空心陰極發(fā)射器. 型號包含燈絲型中和器 Filament Neutralizer , 空心陰極中和器 Hollow Cathode Neutralizers, LFN2000, RFN3000,
通常, 這些電子源可以作為陰極和/或中和器與等離子體或離子源結(jié)合使用. 它們在惰性和反應(yīng)性氣體環(huán)境中的操作是標(biāo)準(zhǔn)的. 電子源的發(fā)射電流是用電流反饋回路測量和控制. 由于這種精確可靠的電子源, KRi 電子中和器成功地用于靜電敏感應(yīng)用和介電材料環(huán)境.
KRi 電子中和器安裝在材料處理環(huán)境中, 作為中和器集成到離子束源上, 或者可以集成到等離子體放電的電離過程中. 在其他應(yīng)用中, 可以與磁控管陰極一起安裝以調(diào)整濺射操作.
KRi 電子中和器 Electron Sources 功能
離子束中和: 射頻離子源, 考夫曼離子源, 霍爾離子源和陽極層源
等離子體產(chǎn)生中的電離: 射頻離子源, 考夫曼離子源, 霍爾離子源
在正偏置分析儀器中, 電中和
磁控濺射中增強的電子通量
主要型號
|
|
|
|
|
|
燈絲型中和器 Filament Neutralizer |
空心陰極中和器 Hollow Cathode Neutralizers |
RFN 3000 |
LFN 2000 |
|
一般用于陰極和/或中和器與等離子體或離子源結(jié)合使用 |
空心陰極是 KRi 提供的幾種低能量和高電流電子源之一.通常用作離子和等離子體束受控生產(chǎn)中的中和劑或陰極 |
通常安裝在材料加工環(huán)境中, 并在離子和等離子束的受控生產(chǎn)中用作中和劑或陰極 |
安裝在離子源側(cè)面的非浸入式電子源. 它的工作范圍適用于低發(fā)射電流有利的應(yīng)用 |
上海伯東美國 KRi 考夫曼離子源適用于各類真空設(shè)備, 實現(xiàn)離子清洗 PC, 離子刻蝕 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光 IBF 等工藝. 在真空環(huán)境下, 通過使用美國 KRi 考夫曼離子源, 制造從微米到亞納米范圍的關(guān)鍵尺寸的結(jié)構(gòu), KRi 離子源具有原子級控制的材料和表面特征.
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項成果. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國KRi考夫曼離子源中國總代理.
上海伯東同時提供各類真空系統(tǒng)所需的渦輪分子泵, 真空規(guī), 高真空插板閥等產(chǎn)品, 協(xié)助客戶生產(chǎn)研發(fā)高質(zhì)量的真空系統(tǒng).
若您需要進(jìn)一步的了解 KRi 離子源 詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
qq: 2821409400
現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！
