上海伯東美國 HVA 不銹鋼百萬周期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10- 9 mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150°C的應用. 閥門真空腔內沒有機械鎖, 這對于需要無振動運行的半導體及精密工藝而言極為有利. HVA 21200 系列閘閥所有活動部件都配有硬化軸, 可以減少顆粒物的產生, 并使動作更加順暢.
HVA 不銹鋼百萬周期真空閘閥 21200 系列超長使用壽命 1,000,000 啟動次數, 清潔和高密封性保證 HVA 閘閥適用于低溫泵, 渦輪分子泵, 離子泵以及其他需要清潔, 高循環次數, 低放氣量的閥門應用.
HVA 不銹鋼百萬周期真空閘閥 21200 系列特點
直線驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器. 獨特的氣缸設計使沖擊和振動減少到更小.閥門真空腔內沒有機械鎖, 因此特別適合應用于半導體制造和其他要求低振動的敏感加工工業. 所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產生并且使驅動更容易.
HVA 不銹鋼百萬周期真空閘閥 21200 系列技術參數
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閥門材質： |
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閥門主體 |
304不銹鋼 |
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焊接波紋管軸封 |
AM-350 |
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驅動軸和驅動銷 |
硬質不繡鋼 |
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密封件 |
氟橡膠 |
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真空： |
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壓力范圍 |
1x10-9 mbar |
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漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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差壓關閉 |
1 bar (任意位置) |
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開啟前最大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）： |
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佛橡膠密封 |
150 °c |
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驅動方式 |
手動 60 °c;氣動 60 °c |
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使用壽命：1,000,000啟閉次數 |
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公稱通徑：DN16-320 mm |
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