上海伯東美國 HVA 矩形閥門 88200 系列矩形板閥是采用了直連驅動技術的接口閥, 可靠使用壽命超過1百萬次. HVA 矩形閥門 88200 系列專用于真空相關系統, 起隔絕真空壓力的作用. HVA 矩形閥外形尺寸小, 設計緊湊, 可靠應用于生產線與過渡腔室 load-lock chamber 過渡腔室 load-lock chamber 與傳輸系統handling system, 傳輸系統 handling system 與工藝腔室 process chamber 等等需要分隔真空壓力的地方.
HVA 矩形閥 88200 系列技術參數
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連接形式： |
標準或定制法蘭 |
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主體材料： |
鋁 |
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公稱通徑： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
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壓力范圍: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤溫度: |
《150℃ |
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適用介質： |
水、蒸汽、空氣 |
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密封形式： |
軟密封型 |
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驅動方式： |
氣動 |
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使用壽命: |
1000000 啟閉次數 |
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