結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證

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或直接聯(lián)絡(luò)客服: 139-1883-7267

渦輪分子泵 HiPace 700 抽速:685 l/s

簡介

Pfeiffer 普發(fā) HiPace 700 穩(wěn)健性工業(yè)設(shè)計和經(jīng)過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統(tǒng)
結(jié)構(gòu)緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業(yè)環(huán)境要求
可應(yīng)用于腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)中國代理. 銷售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 700, 對氮氣抽速可達到 685 l/s, 緊湊設(shè)計, 低能耗的同時保證分子泵更高抽吸能力.

渦輪分子泵 HiPace 700 占地面積小, 任意位置安裝. 適用于工業(yè)環(huán)境-保護等級 IP 54, 通過半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過分子泵控制器監(jiān)控運算數(shù)據(jù), 集成風冷. 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 上海伯東可協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù).

Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 700 技術(shù)參數(shù)

進氣口

 

DN 160

ISO-K

DN 160

CF-F

DN 160

ISO-F

DN 160

ISO-K

DN 160

CF-F

DN 160

ISO-F

分子泵控制器

型號

標配
TC 400

標配
TC 400

標配
TC 400

選配
TCP 350

選配
TCP 350

選配
TCP 350

抽速

Ar L/S

665

665

665

665

665

665

H2 L/S

555

555

555

555

555

555

He L/S

655

655

655

655

655

655

N2 L/S

685

685

685

685

685

685

壓縮比

Ar

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

1X1011

H2

4X105

4X105

4X105

4X105

4X105

4X105

He

3X107

3X107

3X107

3X107

3X107

3X107

N2

>1X1011

>1X1011

>1X1011

>1X1011

>1X1011

>1X1011

全轉(zhuǎn)速時氣體流量

Ar hPa l/s

3.5

3.5

3.5

1.5

1.5

1.5

H2 hPa l/s

>14

>14

>14

>8

>8

>8

He hPa l/s

20

20

20

5

5

5

N2 hPa l/s

6.5

6.5

6.5

3

3

3

極限壓力

hPa

<1X10-7

<5X10-10

<1X10-7

<1x10-7

<5x10-10

<1x10-7

最大預抽真空

N2 hPa

11

11

11

11

11

11

電壓
± 5 %

VDC

48

48

48

48

48

48

最大電流

A

8.4

8.4

8.4

8.75

8.75

8.75

轉(zhuǎn)速± 2 %

RPM

49200

49200

49200

49200

49200

49200

聲噪

dB(A)

≤50

≤50

≤50

≤50

≤50

≤50

允許最大磁場

mT

6

6

6

6

6

6

啟動時間

min

2

2

2

5.5

2.5

2.5

重量

kg

11.5

17.4

12.1

10.6

16.5

10.6

* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環(huán)境中使用
* P 系列: 耐粉塵
* PLUS 系列: 極微振動,雜散磁場低
* H 系列: 更高的壓縮比,尤其適用于輕質(zhì)氣體

Pfeiffer 普發(fā)?渦輪分子泵應(yīng)用 HiPace 700
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學鍍膜, 硬質(zhì)涂層
工業(yè): 醫(yī)學技術(shù), 工業(yè)檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管制造
研發(fā): 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導體: 超高真空排氣臺, PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結(jié)構(gòu)和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應(yīng)用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統(tǒng), 確保低噪音和低振動運行. 此外,  渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質(zhì)氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應(yīng)用提供更優(yōu)的解決方案.

若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 葉小姐                                                  臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              M: +886-939-653-958

現(xiàn)部分品牌誠招合作代理商, 有意向者歡迎聯(lián)絡(luò)上海伯東 葉小姐 1391-883-7267
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