通常, 這些電子源可以作為陰極和/或中和器與等離子體或離子源結合使用. 它們在惰性和反應性氣體環境中的操作是標準的. 電子源的發射電流是用電流反饋回路測量和控制. 由于這種精確可靠的電子源, KRi 電子中和器成功地用于靜電敏感應用和介電材料環境.

KRi 電子中和器安裝在材料處理環境中, 作為中和器集成到離子束源上, 或者可以集成到等離子體放電的電離過程中. 在其他應用中, 可以與磁控管陰極一起安裝以調整濺射操作.

KRi 電子中和器 Electron Sources 功能
離子束中和: 射頻離子源, 考夫曼離子源, 霍爾離子源和陽極層源
等離子體產生中的電離: 射頻離子源, 考夫曼離子源, 霍爾離子源
在正偏置分析儀器中, 電中和
磁控濺射中增強的電子通量


主要型號

 

 

 

 

燈絲型中和器 Filament Neutralizer

空心陰極中和器 Hollow Cathode Neutralizers

RFN3000

LFN2000

一般用于陰極和/或中和器與等離子體或離子源結合使用

空心陰極是 KRi 提供的幾種低能量和高電流電子源之一.通常用作離子和等離子體束受控生產中的中和劑或陰極

通常安裝在材料加工環境中, 并在離子和等離子束的受控生產中用作中和劑或陰極

安裝在離子源側面的非浸入式電子源. 它的工作范圍適用于低發射電流有利的應用
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應用案例

上海伯東針對不同客戶, 提供定制化解決方案并能與客戶攜手合作研發新的項目應用

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