上海伯東美國 HVA 不銹鋼嚴(yán)苛工藝真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計. 在諸如 MOCVD, ALD, PECVD 這樣的極端惡劣應(yīng)用環(huán)境中, 真空閥門會暴露在強腐蝕性化學(xué)物質(zhì)和高溫環(huán)境中. 這些副產(chǎn)品可能會對輪/軸承, 連桿的運作造成影響, 并可能導(dǎo)致閥門卡住. 因此, HVA 不銹鋼嚴(yán)苛工藝真空閘閥 71000 系列設(shè)計采用了無活動部件且與工藝過程完全隔離的波紋管來解決這一問題.
HVA 71000系列閥門采用了堅固的雙重密封設(shè)計, 以提高安全性; 其密封波紋管與工藝流程完全隔離,從而減少了維護工作量; 便于現(xiàn)場清潔和 O 型圈更換, 可減少停機時間; 還提供了一個可選的集成軟泵功能,以減少顆粒污染.
HVA 不銹鋼嚴(yán)苛工藝真空閘閥 71000 系列參數(shù):
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閥門材質(zhì): |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關(guān)閉 |
2 bar (任意位置) |
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- 開啟前最大壓力 |
≤ 1 bar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 佛橡膠密封 |
150 °c, 可選配置最大 250 °c |
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- 驅(qū)動方式 |
手動 60 °c, 氣動 60 °c |
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- 氣體 |
80 psig (5.5 bar) |
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- 電磁 |
4.0 Watts |
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- 供電 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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- 可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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- 位置指示器,最大 |
115 VAC |
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使用壽命: > 250,000 啟閉次數(shù) (具體視實際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 50 - 200 mm |
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