離子源輔助鍍膜客戶案例一: 廈門某光學(xué)鍍膜企業(yè), 該企業(yè)使用日本品牌真空鍍膜機(jī), 鍍膜腔體約 2 m3  , 鍍膜機(jī)加裝霍爾離子源 EH 4200 起到預(yù)清潔 PC及輔助鍍膜 IBAD 的作用.

離子源輔助鍍膜具體操作, 霍爾離子源預(yù)清潔 PC +輔助鍍膜 IBAD : 由于膜層表面很光滑,在鍍膜時(shí)會產(chǎn)生膜層脫落現(xiàn)象, 預(yù)清潔就是將膜層表面用大的離子如 Ar 打擊表面, 使得制程物能吸附在表面上. 加裝KRI霍爾離子源起到預(yù)清潔作用, 在預(yù)清潔后開啟離子源輔助鍍膜 IBAD, 膜層厚度均勻性及附著牢固度都明顯提高。
工作示意圖如下, KRI離子源覆蓋面
KRI 霍爾離子源典型應(yīng)用 PC 預(yù)清潔后,IBAD 輔助鍍膜

使用專業(yè)測膜記號筆, 可以明顯看出加裝 KRI 離子源前后有很大的不同
KRI 霍爾離子源典型應(yīng)用 PC 預(yù)清潔后,IBAD 輔助鍍膜
 

上海伯東美國 KRi 考夫曼離子源適用于各類真空設(shè)備, 實(shí)現(xiàn)離子清洗 PC, 離子刻蝕 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光 IBF 等工藝. 在真空環(huán)境下, 通過使用美國 KRi 考夫曼離子源, 制造從微米到亞納米范圍的關(guān)鍵尺寸的結(jié)構(gòu), KRi 離子源具有原子級控制的材料和表面特征.

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn)考夫曼離子源, 霍爾離子源和射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng)成果. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國KRi考夫曼離子源中國總代理.

上海伯東同時(shí)提供各類真空系統(tǒng)所需的渦輪分子泵, 真空規(guī), 高真空插板閥等產(chǎn)品, 協(xié)助客戶生產(chǎn)研發(fā)高質(zhì)量的真空系統(tǒng).

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更新 : 2026-01-26

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