離子源輔助鍍膜客戶案例一: 廈門某光學鍍膜企業, 該企業使用日本品牌真空鍍膜機, 鍍膜腔體約 2 m3  , 鍍膜機加裝霍爾離子源 EH 4200 起到預清潔 PC及輔助鍍膜 IBAD 的作用.

離子源輔助鍍膜具體操作, 霍爾離子源預清潔 PC +輔助鍍膜 IBAD : 由于膜層表面很光滑,在鍍膜時會產生膜層脫落現象, 預清潔就是將膜層表面用大的離子如 Ar 打擊表面, 使得制程物能吸附在表面上. 加裝KRI霍爾離子源起到預清潔作用, 在預清潔后開啟離子源輔助鍍膜 IBAD, 膜層厚度均勻性及附著牢固度都明顯提高。
工作示意圖如下, KRI離子源覆蓋面
KRI 霍爾離子源典型應用 PC 預清潔后,IBAD 輔助鍍膜

使用專業測膜記號筆, 可以明顯看出加裝 KRI 離子源前后有很大的不同
KRI 霍爾離子源典型應用 PC 預清潔后,IBAD 輔助鍍膜
 

上海伯東美國 KRi 考夫曼離子源適用于各類真空設備, 實現離子清洗 PC, 離子刻蝕 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 和離子束拋光 IBF 等工藝. 在真空環境下, 通過使用美國 KRi 考夫曼離子源, 制造從微米到亞納米范圍的關鍵尺寸的結構, KRi 離子源具有原子級控制的材料和表面特征.

1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發生產考夫曼離子源, 霍爾離子源射頻離子源. 美國考夫曼離子源歷經 40 年改良及發展已取得多項成果. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領域, 上海伯東是美國KRi考夫曼離子源中國總代理.

上海伯東同時提供各類真空系統所需的渦輪分子泵, 真空規, 高真空插板閥等產品, 協助客戶生產研發高質量的真空系統.

若您需要進一步的了解 KRi 離子源 詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐                                                臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              M: +886-939-653-958

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更新 : 2026-01-26

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