推薦型號(hào): 光電子能譜儀 PHI GENESIS 500 既可常規(guī)高通量測(cè)試, 又可微區(qū)高性能測(cè)試 易操作式多功能選配附件 全自動(dòng)樣品傳送停放 高性能大面積和微區(qū) XPS 分析 快速精準(zhǔn)深度剖析 為電池, 半導(dǎo)體, 有機(jī)器件以及其他各領(lǐng)域提供全面解決方案

硬 X射線光電子能譜儀 HAXPES
硬X射線光電子能譜 HAXPES 是一種先進(jìn)的表面分析技術(shù), 主要用于研究固體樣品的表面電子結(jié)構(gòu)和化學(xué)態(tài). HAXPES 利用高能 X射線（例如 Cr Kα 射線 , 能量為 5414.7 eV）激發(fā)樣品表面的電子. 通過(guò)測(cè)量這些電子的能量分布, 能夠獲得關(guān)于樣品表面的化學(xué)成分和電子結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息. 與傳統(tǒng)的 XPS（軟X射線光電子能譜）相比, HAXPES 具有更深的探測(cè)深度, 通常可達(dá)約 30 nm, 適用于多層薄膜, 半導(dǎo)體光電器件等樣品的無(wú)損深度分析.

推薦型號(hào): 硬X射線光電子能譜  PHI GENESIS 900 易操作式多功能選配附件 全自動(dòng)樣品傳送停放 高性能高通量的大面積和微區(qū) HAXPES分析 快速精準(zhǔn)深度剖析 更深的探測(cè)深度 更高的能量分辨率與材料兼容性 為電池, 半導(dǎo)體, 有機(jī)器件以及其他各領(lǐng)域提供全面解決方案

飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀 TOF-SIMS
TOF-SIMS (Time of Flight Secondary lon Mass Spectrometry) 是利用脈沖離子束轟擊樣品表面產(chǎn)生二次離子, 經(jīng)飛行時(shí)間分析器分析二次離子到達(dá)探測(cè)器的時(shí)間, 從而獲得樣品表面成份信息的分析技術(shù). 其表面靈感度高,提供表面幾個(gè)原子層的分子, 元素及其同位素的組成信息, 運(yùn)用于所有元素和同位素, 包括氫元素.

推薦型號(hào): 飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀 PHI nanoTOF 3+  180度的廣接收角, 可收集超過(guò)100 um大景深樣品成像 立體收集焦距大和深景深 同時(shí)實(shí)現(xiàn)高空間及高質(zhì)量分辨模式(High spatial resolution and mass resolution) 多種離子槍選配, 實(shí)現(xiàn)高精度深度剖析和3D成像 FIB-TOF三維深度分布成像 在 TOF-SIMS 上架設(shè)的 MSMS 質(zhì)譜串聯(lián)技術(shù)

俄歇電子能譜儀 Auger
AES  (Auger Electron Spectroscopy) 是利用電子束電離激發(fā)原子內(nèi)層電子, 探測(cè)退激發(fā)過(guò)程出射的俄歇電子, 獲得樣品表面的組成及化學(xué)性質(zhì)的分析方法. AES 不僅表面靈敏, 而且具有納米級(jí)的空間分辨率, 因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件, 微電子器件和材料科學(xué)等研究.

推薦型號(hào): 俄歇電子能譜儀 PHI 710 使用 CMA 同軸分析器, 實(shí)現(xiàn) 360度高靈敏度和高傳輸率分析. 即使在低電流情況下(高空間分辨率), 都可輕松進(jìn)行分析 以 20kV 加速電壓和 1nA 電流進(jìn)行俄歇分析, AES 空間分辨率可達(dá) 8nm 在保有所有 CMA 的優(yōu)點(diǎn)同時(shí), 結(jié)合獲得美國(guó)真空協(xié)會(huì) AVS 設(shè)計(jì)獎(jiǎng)的高能量分辨率功能, AES 可以進(jìn)行各種納米級(jí)區(qū)域的化學(xué)態(tài)分析

動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀 D-SIMS
ADEPT-1010 專為淺層半導(dǎo)體注入和絕緣薄膜的自動(dòng)分析而設(shè)計(jì), 是大多數(shù)半導(dǎo)體開(kāi)發(fā)和支持實(shí)驗(yàn)室的常用工具. 通過(guò)優(yōu)化的二次離子收集光學(xué)系統(tǒng)和超高真空設(shè)計(jì), 提供了薄膜結(jié)構(gòu)檢測(cè)中的摻雜組分和常見(jiàn)雜質(zhì)所需的靈敏度

推薦型號(hào): 動(dòng)態(tài)二次離子質(zhì)譜儀 ADEPT-1010 高靈敏度二次離子檢測(cè)光學(xué)系統(tǒng) 懸浮電位離子槍適于淺注入層分析 對(duì)大氣污染物組分具有低檢出限 絕緣體深度分析 高精度自動(dòng)樣品臺(tái)

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上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商，銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品20余年，協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù)。擁有100%原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件，提供快速維修服務(wù)。

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