2. 以 20kV 加速電壓和電流 1nA 進(jìn)行俄歇分析, AES 空間分辨率可達(dá) ≦8nm.
3. 在擁有所有 CMA 優(yōu)點(diǎn)的同時(shí), 并結(jié)合獲得 AVS (美國(guó)真空協(xié)會(huì)) 設(shè)計(jì)獎(jiǎng)的高能量分辨率功能, AES 可以進(jìn)行各種納米級(jí)區(qū)域的化學(xué)態(tài)分析.
4. Windows 兼容的簡(jiǎn)易操作和功能強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理軟件

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俄歇電子能譜儀 PHI 710

簡(jiǎn)介

1.使用 CMA 同軸分析器, 同時(shí)實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高傳輸率. 即使在低電流高空間分辨率情況下, 都可輕松的進(jìn)行分析.
2. 以 20kV 加速電壓和電流 1nA 進(jìn)行俄歇分析, AES 空間分辨率可達(dá) ≦8nm.
3. 在擁有所有 CMA 優(yōu)點(diǎn)的同時(shí), 并結(jié)合獲得 AVS (美國(guó)真空協(xié)會(huì)) 設(shè)計(jì)獎(jiǎng)的高能量分辨率功能, AES 可以進(jìn)行各種納米級(jí)區(qū)域的化學(xué)態(tài)分析.
4. Windows 兼容的簡(jiǎn)易操作和功能強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理軟件

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技術(shù)規(guī)格

上海伯東代理 ULVAC-PHI 俄歇電子能譜儀 PHI 710 適用于半導(dǎo)體器件, 微電子器件和材料科學(xué)等研究. SEM 像空間分辨率 ≤3 nm,  AES 成分像空間分辨率 ≦8nm.

俄歇電子能譜儀 PHI 710 基本參數(shù)

SEM 像空間分辨率( 25kV )

≤3 nm

AES 空間分辨率( 20kV 1nA)

≦ 8nm

靈敏度

900 kcps ( CuLMM ) @ 10 kV, 10 nA

SEM 放大倍率

x45 (加速電壓:3kV) 至 x 1,000,000

樣品臺(tái)可變動(dòng)范圍

X,Y 軸各±25 mm

離子槍加速電壓

0 至 5 kV 可變

離子槍光柵面積

最大 4 mm x 4mm

極限真空

6.7 x10-8 Pa 以下

重量

主機(jī)重量 1,100 kg, 電子控制柜重量 250 kg, 隔音罩重量 820 kg

電力

200-230V 交流, 單相 50A, 50/60Hz

選配: 6個(gè)樣本泊放裝置, 樣品冷卻斷裂裝置, EBSD, 背散射電子探測(cè)器, 能量色散譜儀 (EDS) 等

俄歇電子能譜儀 PHI 710 特性
1.使用 CMA 同軸分析器, 同時(shí)實(shí)現(xiàn)高靈敏度和高傳輸率. 即使在低電流高空間分辨率情況下, 都可輕松的進(jìn)行分析.
2. 以 20kV 加速電壓和電流 1nA 進(jìn)行俄歇分析, AES 空間分辨率可達(dá) ≦8nm.
3. 在擁有所有 CMA 優(yōu)點(diǎn)的同時(shí), 并結(jié)合獲得 AVS (美國(guó)真空協(xié)會(huì)) 設(shè)計(jì)獎(jiǎng)的高能量分辨率功能, AES 可以進(jìn)行各種納米級(jí)區(qū)域的化學(xué)態(tài)分析.
4. Windows 兼容的簡(jiǎn)易操作和功能強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理軟件
 

俄歇分析通過(guò) SEM 觀(guān)察確定分析位置, 再進(jìn)行采譜, 成分分布成像和深度剖析. 在 SEM 觀(guān)察時(shí)需要細(xì)小的聚焦電子束斑, 同時(shí)進(jìn)行俄歇分析, 需要非常穩(wěn)定的電子束.

SEM 成像分辨率可達(dá) 3納米左右, PHI 710 使用低噪聲電源 (圖1), 采用隔音罩以減小振動(dòng), 聲音, 和溫度的影響, AES 分析時(shí)分辨率可達(dá)到 8nm以下(20 kV1nA).
圖2案例: 球墨鑄鐵斷面中晶間雜質(zhì)的分析.

從左圖所示:二次電子像, 在圖2中從左到右的影像所示分別為 Ca(藍(lán)色) Mg(綠色) Ti(紅色)俄歇成分像, 疊圖以及S的俄歇成分分布像, 表明了 AES 納米級(jí)微區(qū)的化學(xué)分析能力.

俄歇電子能譜儀 PHI 710


俄歇電子能譜儀 PHI 710 應(yīng)用案例

比較分析形態(tài)復(fù)雜的樣本
圖4比較 CMA 和傳統(tǒng) SCA 所采集的球狀樣品的 SEM成像, 以及俄歇成分影像, SCA 中俄歇成分圖的陰影效果非常明顯, 而 CMA 在360°收集訊號(hào)的能力下所獲得的 SEM 像和俄歇成分像可準(zhǔn)確地反映真實(shí)結(jié)果.

俄歇電子能譜儀 PHI 710 特性 1.使用 CMA 同軸分析器,

 


PHI710 AES 成分像, 每個(gè)像素點(diǎn)對(duì)應(yīng)的圖譜可對(duì)元素存在的化學(xué)態(tài)進(jìn)行解析和進(jìn)階的化學(xué)態(tài)成像.

高能量分辨率
圖5顯示半導(dǎo)體芯片電極 Si KLL的高能量分辨成分分布圖. 由Si KLL譜進(jìn)行最小二乘法擬合(LLS)得出三個(gè)主要成分分別為單質(zhì)硅, 氮氧化硅, 硅化物, 從而可把這三種不同化學(xué)態(tài)的硅單獨(dú)輸出成像分布圖.

俄歇電子能譜儀 PHI 710


什么是俄歇電子能譜儀 AES
AES (Auger Electron Spectroscopy) 是利用電子束電離激發(fā)原子內(nèi)層電子, 探測(cè)退激發(fā)過(guò)程出射的俄歇電子, 獲得樣品表面的組成及化學(xué)性質(zhì)的分析方法. AES 不僅表面靈敏, 而且具有納米級(jí)的空間分辨率, 因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體器件, 微電子器件和材料科學(xué)等研究.

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