理解鍍膜工藝過程, 選擇合適的真空系統, 提高鍍膜質量
影響鍍膜系統真空選型的因素
腔體尺寸: 腔體尺寸直接關系到真空泵的尺寸, 在相同的抽空時間的要求下, 越大的腔體需要配越大的泵, 也就是越大抽速的真空泵

循環時間(節拍): 循環時間我們又稱之為節拍, 通常定義為在單位時間內的產出批次; 直接影響著鍍膜設備的盈利能力; 所以說節拍也關系到泵尺寸大小的一個選擇

壓力: 需要達到什么樣的目標真空度？壓力決定著是選擇單級泵, 多級泵以及是否需要配置分子泵; 此外還需要考慮某些氣體, 在特定壓力下對真空設備的影響; 更多的是在比較高的壓力下的一些影響

工藝氣體: 需要了解, 離開腔體及抽氣管路的具體物質和它的物質的量; 真空設備必須和對應的氣體種類和數量相匹配; 而且, 真空系統必須對有害物質具有防護的能力

溫度: 在工具鍍膜的應用中, 常常處于高溫的條件下, 因此是否需要冷卻, 以及所有安裝的組件 - 不僅僅是真空系統, 是否需要冷卻, 都是需要考慮的方面

放氣: 腔體的內表面積越大, 包括腔體的自身的表面積和腔體內部的機械或者電子零部件的表面積以及這些表面的潔凈程度; 都對應了他放氣量的一個數值; 因此如果有大量放氣的情況產生, 在選擇真空系統的時候, 就必須要考慮到這一點

可能的真空抽氣方案: 單級泵, 多級泵, 高真空度下配分子泵
高壓力和低氣載, 一般選單級泵 (油泵, 干泵).
低壓力和高氣載, 一般選多級羅茨泵組, 工具鍍膜典型配置 Duo 65M + OKTA 500M 真空泵組
因 PVD 工藝壓力 <1E-3mbar, 選擇分子泵
普發真空泵

如何選擇合適的前級泵: 在您的應用場景中最重要的要求是？

油泵 (機械泵)
通常適用于更低的極限壓力
極限真空 >10-3hPa
通常用于工具鍍膜領域, 對粉塵的耐受性更佳 (油定期保養, 選擇合適的配件: 粉塵過濾器, 油霧過濾器 )

干泵(多級羅茨泵)
抽氣腔體完全無油, 無碳氫化合物污染
極限壓力 >10-2

如何選擇合適的泵組: 先確認泵組需要實現的功能, 比如快速抽空, 在工藝壓力下連續抽氣
根據抽速, 目標時間, 目標壓力來選擇合適的型號, 并考慮由于管路流導損失和配件的影響, 抽速的損失在設計中也必須要考慮到.

如何選擇合適的分子泵: 根據實際需要
更快的啟動時間, 可以直接啟動？還是免維護？
是更低的震動, 無工藝污染或者是粉塵堆積的耐受能力等等

上海伯東德國 Pfeiffer 提供2種類型的分子泵: 復合軸承技術和磁懸浮軸承的技術, 兩種不同類型的分子泵各自有不同的性能特點:

隨著工藝粉塵在生產過程中的不斷累積, 需要對分子泵旋片受到的不平衡外力進行補償, 也就是在磁懸浮軸承部分施加一個補償, 方案是通過電磁控制做一個程度相對有限的一個調整.
這樣對比, 就能得出復合軸承對粉塵的耐受能力更強的結論.
因為復合軸承技術沒有產生額外的磁場, 所以不受到環境的外磁場干擾

pfeiffer 普發分子泵

復合軸承分子泵
快速啟動
粉塵堆積耐受能力
對環境無磁場影響
800Ls內可任何位置安裝

磁懸浮分子泵
免維護(但是建議每5年進行一次清潔保養)
更低的振動
無工藝污染
不受限的任意方向安裝

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優的解決方案.

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