Pfeiffer ACP 系列干泵提供多種型號, 適用于半導體制造, 真空包裝, 醫療與制藥, 研發和分析等行業中需要潔凈, 干燥真空環境的應用.

標準 SD 版本適用于處理半導體等離子清洗等潔凈氣體. G 版本針對腐蝕性氣體優化, 特別適合蝕刻工藝. CV 版本專為可冷凝蒸汽設計, 是制藥行業干燥應用的合適選擇. 在特種氣體處理領域, CP, SH 和 SR 版本分別針對氦氣回收, 粒子加速器和輻射環境而設計

Pfeiffer 普發 ACP 系列干式真空泵完全符合 CE 認證, 并通過了 UL/CSA 和 SEMI S2 認證, 滿足《限制危險材料指令》(2011/65/EU), 《電氣安全標準 IEC 60204-1》及《機械指令》(2006/42/EG)等國際安全與性能標準.

 

主要型號

技術參數

上海伯東德國普發 Pfeiffer 氣冷型干式真空泵(多級羅茨泵) ACP 系列, 清潔無油, 滿足潔凈干燥真空工藝的要求! 干式真空泵 ACP 系列抽速范圍 15 至 95 m3/h, 極限真空度 10-2 hPa, 提供標準版本 SD 系列, 抗腐蝕版本 G 系列, 耐水汽版本 CV 系列, SH 無氟版本和 CP 氣體回收版本, 滿足各種真空應用

干式真空泵 ACP 主要優勢:
1. 干式真空泵非接觸設計, 無摩擦, 不會受到顆粒的污染 (在氣體輸送路徑中不存在磨損件)
2. 無烴類蒸汽的回流 (ACP 干泵對于泵模塊是無潤滑劑)
3. 恒定功率 (抽吸能力, 最高持續進氣壓力和最終壓力)
4. 維護成本低, 維修間隔時間超長:
   ACP 15 干泵完整大修僅每 20000 小時一次
   ACP 28 / 40 完整大修僅每 22000 小時一次
5. 干式真空泵 ACP 是渦旋泵和油泵的理想替代品
6. 氣冷型, 更低能耗
7. 變頻器-計時表, 遠程操作模式 (RS-485, 干觸點, Profibus可選),多轉速選擇(節能,噪音低)
8. 多種標準接口: 吹掃氣體, 氣鎮等
9. 符合 CE 標準, 通過 UL/CSA 認證, SEMI S2 認證

干式真空泵 ACP 系列技術參數:

技術參數

ACP 15

ACP 28

ACP 40

ACP 90

ACP 120

抽速

14 m³/h

27 m³/h

37 m³/h

88 m³/h

95 m³/h

不含氣鎮或吹掃的極限真空

5X10?² mbar

4X10?² mbar

4X 10?² mbar

3X 10?² mbar

3X 10?² mbar

帶氣鎮的極限真空

3X10?¹ mbar

2X10?¹ mbar

2X10?¹ mbar

1.6X 10?1 mbar

3X 10?1 mbar

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

風冷

風冷

極限壓力下的功耗

0.45 kW

0.7 kW

0.7 kW

1.3 kW

1.3 kW

最大功耗

0.55 kW

1.05 kW

1.05 kW

1.3 kW

1.5 kW

重量

23 kg

30 kg

32 kg

75 kg

213 kg

尺寸(L x W x H)

514 x 190 x 270 mm

647 x 193 x 322 mm

647 x 193 x 322 mm

671 x 319 x 324 mm

872 x 370 x 469 mm

進氣法蘭

DN 25 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

DN 50 ISO-KF

SD: 標準版本, 適合需要進行潔凈(無塵)以及抽氣環境無腐蝕性氣體的真空應用。標準干泵裝配有一個氣鎮閥,便于保證輕氣體的抽氣能力和排水汽. 三種氣鎮閥類型供您選擇
G:   抗腐蝕版本, 適合含有少量腐蝕性氣體的抽氣環境. 掃氣管路的三個噴嘴用于稀釋微量的腐蝕性氣體, 同時保護低壓和高壓球軸承. 為取得軸承的最佳保護效果, 必須將中性吹掃氣體輸入管路中的壓力調節到 0.3 bar, 以便達到技術數據中規定的吹掃氣體流量
CV:  耐水汽版本, 是制藥行業干燥應用的合適選擇
SH:  無氟版本
CP:  氣體回收版本, 通入氣體必須是清潔,  無塵, 無腐蝕性的氣體, 為氦氣回收, 粒子加速器和輻射環境而設計

干式真空泵 ACP 應用:
1. 分析儀器; 2. 電子顯微鏡; 3. 表面分析儀; 4. 檢漏儀; 5. 質譜儀; 6. 光譜儀; 7. R&D; 8. 粒子加速器; 9. 分子泵組; 10. 實驗室; 11. 工業; 12. 燈具生產; 13. 真空鍍膜; 14. 低溫泵再生; 15. 等離子清洗; 16. 干燥; 17. Load-lock;


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