上海伯東代理 Pfeiffer 普發(fā)干式真空泵 ACP 15, 清潔無(wú)油, 滿足潔凈干燥真空工藝的要求! ACP 15 抽速范圍 14 m3/h, 極限真空度 10-2 mbar, 提供標(biāo)準(zhǔn)版本 SD 系列和抗腐蝕版本 G 系列, 滿足各種真空應(yīng)用
Pfeiffer 普發(fā)干式真空泵 ACP 15 基本參數(shù)：
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型號(hào) |
接口尺寸 DN |
極限真空度 mbar |
抽速 |
最大漏率 |
重量 |
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有氣鎮(zhèn)閥 |
無(wú)氣鎮(zhèn)閥 |
m3/h |
mbar l/s |
kg |
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ACP 15 SD |
25 |
0.1 |
3X10-2 |
14 |
< 5X10-7 |
23 |
標(biāo)準(zhǔn) SD 版本適用于處理半導(dǎo)體等離子清洗等潔凈氣體.
G 版本針對(duì)腐蝕性氣體優(yōu)化, 特別適合蝕刻工藝
Pfeiffer 普發(fā)干式真空泵 ACP 應(yīng)用：
1. 分析儀器; 2. 電子顯微鏡; 3. 表面分析儀; 4. 檢漏儀; 5. 質(zhì)譜儀; 6. 光譜儀; 7. R&D; 8. 粒子加速器; 9. 分子泵組; 10. 實(shí)驗(yàn)室; 11. 工業(yè); 12. 燈具生產(chǎn); 13. 真空鍍膜; 14. 低溫泵再生; 15. 等離子清洗; 16. 干燥; 17. Load-lock;
上海伯東Pfeiffer 普發(fā) ACP 系列干式真空泵 (多級(jí)羅茨泵) , 采用非接觸式運(yùn)行設(shè)計(jì), 結(jié)合多級(jí)壓縮技術(shù), 轉(zhuǎn)子和定子之間不使用潤(rùn)滑油和密封材料, 抽氣模塊無(wú)磨損件, 無(wú)顆粒產(chǎn)生, 有效保證多級(jí)羅茨泵實(shí)現(xiàn)無(wú)油, 無(wú)顆粒污染的干燥真空環(huán)境, ACP系列干泵可作為分子泵的前級(jí)泵, 超長(zhǎng)的使用壽命, 提供耐腐蝕型號(hào)供選擇.
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