干式真空泵 ACP 15 G 在氣體水分儀應用中的優勢
提供潔凈干燥真空環境, 無顆粒狀污染物
可持續解決方案, 低能耗, 變頻器驅動電機提供恒定的轉速, 實現穩定的抽速和一致的極限壓力
可處理可凝性蒸汽, 耐微量腐蝕
?風冷設計,無供水方面的安裝和運營成本
符合 CE 標準，獲得 UL/CSA 認證以及 SEMI S2 認證

干式真空泵 ACP 15 G 主要參數

型號	數值
參考圖片
進氣法蘭	DN 25 ISO-KF
輸入電壓	110 至 230 V AC (±10 %), 50/60 Hz
最高氦泄漏率	5X10^-7 hPa l/s
最終壓力下的功耗	450 W
無氣鎮或吹掃的典型最終壓力	5X10^-2 hPa
抽速	14 m³/h
最高連續進氣壓力	1013 hPa
最高排氣壓力	1200 hPa
最終壓力	5X10^-2 hPa
排放聲壓級 (EN ISO 2151)	63 dB(A)
典型的最終壓力, 帶氮氣吹掃, 50 Hz	3X10^-1 hPa
不含氣鎮或吹掃的最終壓力, 最大值	5X10^-2 hPa

Pfeiffer 干式真空泵(多級羅茨泵) ACP 應用場景
分析儀器: 電子顯微鏡, 表面分析儀, 檢漏儀, 質譜儀, 光譜儀
研發及科研: 粒子加速器, 渦輪分子泵組,實驗室
工業: 燈具制造, 真空鍍膜, 低溫泵再生, 等離子清洗, 干燥, 預載真空
Pfeiffer 干式真空泵 (多級羅茨泵) ACP 15 G