型號
參考圖片
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測量范圍
10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
精度
10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %;
0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1 %
長期穩(wěn)定性
< 每年 1 % 的漂移
顯示控制
PLC
自帶顯示控制器,方便攜帶
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型號 |
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測量范圍 |
10 mbar 至 5 x 10-7 mbar |
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精度 |
10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %; |
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長期穩(wěn)定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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顯示控制 |
PLC |
自帶顯示控制器,方便攜帶 |
ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)在高真空測量中的優(yōu)勢
長期穩(wěn)定, 無需校準(zhǔn): 讀數(shù)隨時間漂移 <1% 每年
清潔, 對工藝無影響: 沒有內(nèi)在的污染源, 真空計(jì)材質(zhì)不銹鋼, 耐腐蝕, 耐高溫
測量范圍廣: (1000) 100 至 5x10-7mbar 滿足不同應(yīng)用
涂層/污染/溫度/磁場不敏感
快速響應(yīng)時間
自主工作, 結(jié)構(gòu)緊湊, 無故障, 方便系統(tǒng)集成
兼容性和靈活性:多種法蘭接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析診斷功能, 易于設(shè)置和控制,支持?jǐn)?shù)據(jù)存儲, 24VDC 和電池供電
可選: 測量頭與昂貴的電子元件分離設(shè)計(jì), 無需打開密封的真空腔體, 更便捷的真空系統(tǒng)監(jiān)測方案
上海伯東 SRG 高精度磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì)應(yīng)用(替代離子規(guī))
高精度真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng): 提供真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)或單獨(dú)真空規(guī)
低溫真空絕熱:方便集成, 在線監(jiān)測
半導(dǎo)體過程壓力測量（用于反應(yīng)氣體或沉積）: 離子注入, 刻蝕, CVD, PVD 等
真空鍍膜:顯示面板, 光學(xué)鍍膜
加速器, 離子實(shí)驗(yàn)
若您需要進(jìn)一步的了解 ph-instruments SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計(jì), 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！
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伯東企業(yè)（上海）有限公司
伯東公司成立于1953 年，從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作。
重視以人為本的經(jīng)營理念、與您密切合作，專業(yè)服務(wù)及時周到，我們?yōu)槲磥淼募夹g(shù)提供支持，找到創(chuàng)新且節(jié)能的真空技術(shù)解決方案。
上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商，銷售維修普發(fā) Pfeiffer
真空產(chǎn)品20余年，協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù)。擁有100%原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件，提供快速維修服務(wù)。
專業(yè)銷售 維修團(tuán)隊(duì)
國際知名真空品牌指定授權(quán)代理商，全權(quán)負(fù)責(zé)在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，100% 原廠進(jìn)口零部件及國外受訓(xùn)維修工程師；擁有完全的拆解，維修，校正能力，24小時在線服務(wù)。
提供世界一流的真空產(chǎn)品
上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會責(zé)任為經(jīng)營理念，已累計(jì)為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。
