型號
參考圖片
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測量范圍
10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
精度
10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %;
0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數的 1 %
長期穩定性
< 每年 1 % 的漂移
顯示控制
PLC
自帶顯示控制器,方便攜帶
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型號 |
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測量范圍 |
10 mbar 至 5 x 10-7 mbar |
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精度 |
10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; |
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長期穩定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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顯示控制 |
PLC |
自帶顯示控制器,方便攜帶 |
ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉子真空計在高真空測量中的優勢
長期穩定, 無需校準: 讀數隨時間漂移 <1% 每年
清潔, 對工藝無影響: 沒有內在的污染源, 真空計材質不銹鋼, 耐腐蝕, 耐高溫
測量范圍廣: (1000) 100 至 5x10-7mbar 滿足不同應用
涂層/污染/溫度/磁場不敏感
快速響應時間
自主工作, 結構緊湊, 無故障, 方便系統集成
兼容性和靈活性:多種法蘭接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析診斷功能, 易于設置和控制,支持數據存儲, 24VDC 和電池供電
可選: 測量頭與昂貴的電子元件分離設計, 無需打開密封的真空腔體, 更便捷的真空系統監測方案
上海伯東 SRG 高精度磁懸浮轉子真空計應用(替代離子規)
高精度真空計校準系統: 提供真空計校準系統或單獨真空規
低溫真空絕熱:方便集成, 在線監測
半導體過程壓力測量（用于反應氣體或沉積）: 離子注入, 刻蝕, CVD, PVD 等
真空鍍膜:顯示面板, 光學鍍膜
加速器, 離子實驗
若您需要進一步的了解 ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
上海伯東版權所有, 翻拷必究！
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伯東企業（上海）有限公司
伯東公司成立于1953 年，從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作。
重視以人為本的經營理念、與您密切合作，專業服務及時周到，我們為未來的技術提供支持，找到創新且節能的真空技術解決方案。
上海伯東 Pfeiffer 普發真空產品授權代理商，銷售維修普發 Pfeiffer
真空產品20余年，協助客戶選型并提供完善的售后維修服務。擁有100%原裝進口維修設備和備品配件，提供快速維修服務。
專業銷售 維修團隊
國際知名真空品牌指定授權代理商，全權負責在中國地區的銷售和維修服務，100% 原廠進口零部件及國外受訓維修工程師；擁有完全的拆解，維修，校正能力，24小時在線服務。
提供世界一流的真空產品
上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念，已累計為超過10,000家企業提供真空服務，覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。
