電子束對(duì)樣品進(jìn)行光柵式掃描. 首先, 真空柱頂端的電子源產(chǎn)生電子. 當(dāng)電子的熱能克服源材料的逸出功時(shí), 電子被發(fā)射而出. 然后, 它們被加速并被帶正電的陽(yáng)極吸引. 整個(gè)電子柱需要處于真空條件下, 如同電子顯微鏡的所有組件一樣, 電子源被密封在一個(gè)特殊的腔室內(nèi),

通過(guò)這種方式保持真空并防止其受到污染, 振動(dòng)或噪音. 真空在保護(hù)電子源不受污染的同時(shí), 也使客戶獲得高分辨率圖像成為可能. 如果缺少真空, 則電子柱中可能出現(xiàn)其他原子和分子. 它們與電子的相互作用將導(dǎo)致電子束出現(xiàn)偏轉(zhuǎn)并降低圖像質(zhì)量, 此外, 高真空還可以提高真空柱中的探測(cè)器對(duì)電子的收集效率.

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更新 : 2025-12-16

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