電子束對樣品進行光柵式掃描. 首先, 真空柱頂端的電子源產生電子. 當電子的熱能克服源材料的逸出功時, 電子被發射而出. 然后, 它們被加速并被帶正電的陽極吸引. 整個電子柱需要處于真空條件下, 如同電子顯微鏡的所有組件一樣, 電子源被密封在一個特殊的腔室內,
通過這種方式保持真空并防止其受到污染, 振動或噪音. 真空在保護電子源不受污染的同時, 也使客戶獲得高分辨率圖像成為可能. 如果缺少真空, 則電子柱中可能出現其他原子和分子. 它們與電子的相互作用將導致電子束出現偏轉并降低圖像質量, 此外, 高真空還可以提高真空柱中的探測器對電子的收集效率.
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