分流式分子泵在分析儀器中的作用
傳統技術采用多款抽速不同的高真空泵來實現真空系統, 例如樣品室腔體, 部分多級離子光學裝置和質譜儀的檢測器系統. 渦輪分子泵主要用于該用途, 而分離泵用于各自不同的真空度和氣流量. 至少需要兩臺抽速在 50 到 300l/s 之間的高真空泵. 這些泵還需要采用小型機械前級泵進行粗抽(例如旋片泵). 排空氣源還需要附加的真空泵. 取決于要求, 必須達到至少 30 m³/h 或以上的總抽速. 該解決方案需要大量空間, 由于獨立組件眾多, 整體系統的可靠性降低.

SplitFlow™ 是由上海伯東德國 Pfeiffer 開發的利用一個模塊去實現渦輪牽引泵的功能, 從而為分析系統制造商提供了更大的靈活性. 分流分子泵在單一真空系統內結合了精確的幾何適應性和優異的性能. 尤其是在不斷增加的復雜性和臺式裝置趨勢方面, 符合市場要求和客戶需要. 除了純粹的幾何適應性以外, 還滿足特定的真空技術參數. 例如, 通過結合不同的抽氣原理（例如, 結合渦輪分子泵和霍爾威克壓力級）, 允許的前真空壓力將明顯提高, 同時壓縮性能將提高幾個數量級. 通過巧妙地設計轉子幾何形狀, 可以產生多達三個不同的泵級. 它們的定向方式只會部分地相互影響. 這樣的布置使得分流式分子泵可以代替兩臺離散式高真空泵和一臺機械前級泵.

分析儀器中的真空系統(分流分子泵應用)
帶有三級 SplitFlow™ 渦輪分子泵的創新質譜儀系統

上海伯東德國 Pfeiffer SplitFlow™ 分流式分子泵
SplitFlow™ 分流式分子泵可以實現完全整合到分析儀器的真空室中, 型號包含 SplitFlow 50, SplitFlow 80, SplitFlow 310 等, 取決于系統的配置, 一般可以為真空系統減少大約 50%的空間, 而且節省成本超過 50%. 通過取消離散式抽吸裝置, 采用標準泵批量生產的研究結果, 如今可以達到超過 100,000 小時 MTTF（平均無故障時間）的分子泵可靠性.
pfeiffer普發分流式分子泵 SplitFlow

SplitFlow™ 分流式分子泵通過優化的軸承技術實現高可靠性, 無需維護的磁懸浮軸承搭配球軸承在兩側定位快速旋轉的轉子, 從而可以有效減震. 對于渦輪分子泵的計算機控制一體化, 提供標準化的界面. 由于其特殊布局, 這些泵只需要一個空氣冷卻系統, 這意味著, 可以省去附加的水冷卻和其他裝置費用.

上海伯東 Pfeiffer SplitFlow™ 分流式分子泵與不同系統設備商合作開發各類真空系統, 典型應用包含氦質譜檢漏儀, 氦質譜檢漏系統, 質譜分析儀等, 分流泵模塊化的靈活方法使其可以按照客戶要求提供個性化定制.