分流式分子泵在分析儀器中的作用
傳統(tǒng)技術(shù)采用多款抽速不同的高真空泵來實(shí)現(xiàn)真空系統(tǒng), 例如樣品室腔體, 部分多級離子光學(xué)裝置和質(zhì)譜儀的檢測器系統(tǒng). 渦輪分子泵主要用于該用途, 而分離泵用于各自不同的真空度和氣流量. 至少需要兩臺抽速在 50 到 300l/s 之間的高真空泵. 這些泵還需要采用小型機(jī)械前級泵進(jìn)行粗抽(例如旋片泵). 排空氣源還需要附加的真空泵. 取決于要求, 必須達(dá)到至少 30 m³/h 或以上的總抽速. 該解決方案需要大量空間, 由于獨(dú)立組件眾多, 整體系統(tǒng)的可靠性降低.

SplitFlow™ 是由上海伯東德國 Pfeiffer 開發(fā)的利用一個(gè)模塊去實(shí)現(xiàn)渦輪牽引泵的功能, 從而為分析系統(tǒng)制造商提供了更大的靈活性. 分流分子泵在單一真空系統(tǒng)內(nèi)結(jié)合了精確的幾何適應(yīng)性和優(yōu)異的性能. 尤其是在不斷增加的復(fù)雜性和臺式裝置趨勢方面, 符合市場要求和客戶需要. 除了純粹的幾何適應(yīng)性以外, 還滿足特定的真空技術(shù)參數(shù). 例如, 通過結(jié)合不同的抽氣原理（例如, 結(jié)合渦輪分子泵和霍爾威克壓力級）, 允許的前真空壓力將明顯提高, 同時(shí)壓縮性能將提高幾個(gè)數(shù)量級. 通過巧妙地設(shè)計(jì)轉(zhuǎn)子幾何形狀, 可以產(chǎn)生多達(dá)三個(gè)不同的泵級. 它們的定向方式只會部分地相互影響. 這樣的布置使得分流式分子泵可以代替兩臺離散式高真空泵和一臺機(jī)械前級泵.

分析儀器中的真空系統(tǒng)(分流分子泵應(yīng)用)
帶有三級 SplitFlow™ 渦輪分子泵的創(chuàng)新質(zhì)譜儀系統(tǒng)

上海伯東德國 Pfeiffer SplitFlow™ 分流式分子泵
SplitFlow™ 分流式分子泵可以實(shí)現(xiàn)完全整合到分析儀器的真空室中, 型號包含 SplitFlow 50, SplitFlow 80, SplitFlow 310 等, 取決于系統(tǒng)的配置, 一般可以為真空系統(tǒng)減少大約 50%的空間, 而且節(jié)省成本超過 50%. 通過取消離散式抽吸裝置, 采用標(biāo)準(zhǔn)泵批量生產(chǎn)的研究結(jié)果, 如今可以達(dá)到超過 100,000 小時(shí) MTTF（平均無故障時(shí)間）的分子泵可靠性.
pfeiffer普發(fā)分流式分子泵 SplitFlow

SplitFlow™ 分流式分子泵通過優(yōu)化的軸承技術(shù)實(shí)現(xiàn)高可靠性, 無需維護(hù)的磁懸浮軸承搭配球軸承在兩側(cè)定位快速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子, 從而可以有效減震. 對于渦輪分子泵的計(jì)算機(jī)控制一體化, 提供標(biāo)準(zhǔn)化的界面. 由于其特殊布局, 這些泵只需要一個(gè)空氣冷卻系統(tǒng), 這意味著, 可以省去附加的水冷卻和其他裝置費(fèi)用.

上海伯東 Pfeiffer SplitFlow™ 分流式分子泵與不同系統(tǒng)設(shè)備商合作開發(fā)各類真空系統(tǒng), 典型應(yīng)用包含氦質(zhì)譜檢漏儀, 氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng), 質(zhì)譜分析儀等, 分流泵模塊化的靈活方法使其可以按照客戶要求提供個(gè)性化定制.