渦輪分子泵 HiPace 700 進氣口: DN 160 CF-F 氮氣抽速: 685 l/s 氮氣壓縮比: > 1X1011 極限真空: 5X10-10 mbar 半導體 Semi S2 及 IP 54 防護等級
渦旋干泵 ISP 500C 進氣口: KF 40 氮氣抽速: 500 l/min 極限真空: 7.5x10-3 pa
全量程真空計 PKR 251 進氣口:KF 25 測量范圍: 5E-9至 1000 精度: ±30%
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更新 : 2026-02-05
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