分子束外延 MBE 系統需要在超高真空環境中進行, 對真空度要求及其高, 真空度可到 2×10-10 torr, 同時需要分子泵低振動, 低噪音, 清潔無油確保超高真空的穩定性已保證晶格的生長和后期的探測分析.

上海伯東分子束外延 MBE 客戶案例一: 某真空系統集成商搭建 MBE 設備, 經過我司推薦采購 Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 300 Pro. 客戶的 MBE 系統可用于最大單片 4"或 3X2"的襯底, 進行 III-V,II-VI 及氮化物, 氧化物等各類材料的外延生長.
渦輪分子泵應用于分子束外延 MBE

上海伯東分子束外延 MBE 客戶案例二: 根據真空腔室大小和客戶要求的抽空時間, 上海伯東推薦某真空設備商 MBE 設備搭配 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700, 真空可達到10-10 Torr. HiPace 700 尺寸 Φ208 x 224mm, 重量 17.4 kg, 方便集成于設備中!

Pfeiffer 普發分子泵 HiPace 700

渦輪分子泵 HiPace 700
接口: DN 160 CF-F
極限真空: < 5X10-10 mbar
氮氣壓縮比: > 1X1011
抽速N2: 685 l/s

上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優的解決方案.

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