上海伯東德國(guó)普發(fā)渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 800, 抽速可達(dá) 790 l/s 的渦輪分子泵. 分子泵占地面積小, 高氣通量和高抽吸能力. 集成驅(qū)動(dòng)電路, 適用于工業(yè)環(huán)境, 通過保護(hù)等級(jí) IP54, 半導(dǎo)體 S2, UL / CSA 認(rèn)證. 通過控制器, 監(jiān)控運(yùn)算數(shù)據(jù)保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 800 可選控制器 TC 400 或 TCP 350, 另有分子泵 HiPace 800P 因其能抵抗工業(yè)粉塵和微小粒子而廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域. 對(duì)標(biāo) Edwards STP 磁懸浮分子泵.
渦輪分子泵 HiPace 800 技術(shù)參數(shù)
|
分子泵型號(hào) |
接口 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啟動(dòng)壓強(qiáng)mbar |
極限壓力 |
全轉(zhuǎn)速氣體流量hPa l/s |
啟動(dòng)時(shí)間 |
重量 |
|||
|
進(jìn)氣口 |
排氣口 |
氮?dú)?br /> N2 |
氦氣He |
氫氣 H2 |
氮?dú)?br /> N2 |
氮?dú)釴2 |
hPa |
氮?dú)釴2 |
min |
kg |
|
|
HiPace 800 |
200 |
25 |
790 |
700 |
580 |
> 1X1011 |
11 |
< 1X10–7 |
6.5 |
2 |
12.8 – 19.1 |
渦輪分子泵 HiPace 800 P 系列, 因其能抵抗工業(yè)粉塵和微小粒子而廣泛應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域.
渦輪分子泵應(yīng)用 HiPace 800 應(yīng)用
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD
工業(yè): 燈管制造
研發(fā): 納米技術(shù), 生物技術(shù)
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質(zhì)譜, 表面分析, 殘余氣體分析
半導(dǎo)體: PVD, CVD, Beamline, Inspection
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結(jié)構(gòu)和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應(yīng)用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統(tǒng), 確保低噪音和低振動(dòng)運(yùn)行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號(hào), 包括針對(duì)氫氣等輕質(zhì)氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號(hào). 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導(dǎo)體制造和分析應(yīng)用提供更優(yōu)的解決方案.
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