上海伯東美國 KRi 離子源中國總代理. KRi Pulsed DC Sputter 脈沖直流濺射電源適用于脈沖直流磁控濺射, 功率可達 3000 瓦, 電壓范圍 0?1000 伏, 最大輸出電流 10 安.
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參數類別 |
詳細規格 |
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產品型號 |
KRi 脈沖直流濺射電源 |
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輸出功率 |
3000 瓦 |
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工作模式 |
脈沖直流 (Pulsed DC) |
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最大脈沖頻率 |
高達 100 kHz |
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輸出電壓范圍 |
0 - 1000 V |
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電弧檢測速度 |
200 納秒 |
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可調參數 |
占空比, 電弧檢測延遲, 重啟關閉時間 |
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監控功能 |
運行定時器, kWh計數器, 時間限制 |
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通信接口 |
RS-232, 模擬接口 |
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特色設計 |
寬范圍輸出, 無需變壓器抽頭切換 |
