上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube Neo RGA, 操作簡單, 便攜設計,集成渦輪分子泵組 HiCube 80 Neo 和四級桿質譜儀 QMG 250, 客制化選擇. 殘余氣體分析儀 HiCube Neo RGA 適用于壓力范圍從大氣到高真空的應用, 如真空鍍膜, 真空爐, 冷凍干燥和科研.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube Neo RGA 配置可選
氣體分析 PrismaPro: 3種質量量程, 探測器, 2種燈絲材料
分子泵組 HiCube: 隔膜泵 MVP 015-2 DC 或 MVP 030-3 DC, 擴展套件
數字真空計：MPT 200 AR 或 HPT 200 AR
腔室：筒式加熱器+絕緣
進氣閥: 取決于應用
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質量數(量程) |
1-100, 1-200, 1-300 u |
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入口 |
Evn 116 或閘閥或全金屬閥 |
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人機交互 |
7英寸觸摸顯示器 |
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總壓力測量 |
數字真空計 MPT 200 AR 或 HPT 200 AR |
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檢測限 |
3…5E-15 hPa |
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尺寸 |
583 x 446 x 434 mm |
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重量 |
22-27 kg 根據配置 |
四極桿質譜 PrismaPro 與 HiCube Neo 渦輪分子泵組的搭配
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渦輪分子泵組 |
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分子泵 |
SplitFlow ® 80 |
SplitFlow ® 80 |
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隔膜泵 |
MVP 015-2 DC |
MVP 030-3 DC |
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電壓（范圍） |
110 - 240 V; 50 / 60 Hz |
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氮氣抽速 |
67 l/s |
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前級泵在 50 Hz 時的泵送速度 |
1 m3/h |
1.8 m3/h |
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極限真空 |
<1X10-7 hPa |
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真空計 |
MPT 200 AR 或 HPT 200 AR |
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閥門 |
EVN 116 或閘閥或全金屬閥 |
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PrismaPro |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) |
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質量數 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四極桿直徑／長度 |
6 /125 mm |
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最小檢測極限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小檢測極限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作壓力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作壓力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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對臨近質量數的影響*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作溫度 電子 |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度 分析 |
300 °C |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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保壓時間 |
1 ms – 16 s/amu |
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峰比值可重復性 |
± 0.5 % |
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接口 |
以太網 |
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電源電壓 |
100–240 V AC，50/60 Hz |
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HiCube™ RGA重量 |
25.5 - 26.2 kg |
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與 HiCube RGA 比較
設計更緊湊
金屬密封
配有7英寸觸摸屏 和 PV MassSpec 軟件
通過數字真空計監測總壓力, 保護燈絲
大量的定制選項
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 HiCube Neo RGA 應用場景
研發
冷凍干燥 / 凍干
真空爐
鍍膜
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