上海伯東 Hakuto 自研在線質譜分析儀是一種現代, 緊湊, 高性能的氣體分析儀, 接受客戶定制, 提供更靈活的氣體分析解決方案. 上海伯東自研在線質譜分析儀專為苛刻的工業和研究應用而設計, 提供高定量準確性和實時氣體分析性能
上海伯東 Hakuto 自研在線質譜分析儀優勢
經濟適用, 接受客戶定制, 靈活多變的應用解決方案
高效的在線氣體分析
智能軟件
應用范圍廣: 科研, 工業, 半導體, 鍍膜
Hakuto 自研在線質譜分析儀特性
高分析精度與生產就緒的可靠性相結合
智能軟件: 集成軟件的直觀控制, 數據采集和量化, 支持先進的數據分析
廣泛的應用范圍: 理想的氣體純度分析, 真空監測, 泄漏檢測和實時過程控制領域, 如氣體雜質分析, 光催化, 熱催化, 半導體制造先進材料加工.
上海伯東 Hakuto 自研在線質譜分析儀核心分析技術
質量范圍: 高達 300amu(適用于廣泛的工藝氣體和副產品)
高速讀取: 高達 1000 讀數/秒每 amu 快速過程監控和準確的端點檢測
先進的質量過濾器: 采用先進的四極桿質譜, 優越的質量分離和信號穩定性
雙探測器系統: 具有雙法拉第/二次電子倍增器(SEM), 具有寬動態范圍和低檢測極限
集成過程邏輯控制器: 允許在室內安裝和直接控制本地過程環境
行業標準通信: 支持高速, 確定性協議, 如 EtherCAT, Modbus 無縫工具集成
智能軟件: 直觀的 GUI(圖形用戶界面)控制, 數據采集和自動分析
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型號 |
Hakuto Genius 在線質譜分析儀 |
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分析技術 |
四極桿質譜 QMS |
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質量數 |
1 - 100 / 200 / 300 amu |
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分析器類型 |
四極質量過濾器 |
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離子發生器 |
電子撞擊電離器 |
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探測器 |
法拉第 /二次電子倍增器(SEM) |
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真空系統 |
內部集成緊湊設計的渦輪分子泵 |
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取樣壓力范圍 |
1E-5 torr 至 30 psi |
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通信協議 |
EtherCAT, Modbus, RS232 / RS432 |
Hakuto 自研在線質譜分析儀應用場景
光催化 / 熱催化
石油裂解 / 煤氣分析
燃燒室管理: 燃燒室指紋識別和匹配
ALD, ALE, 干泵管理, EUV 鏡像管理
泄漏檢測
氣體輸送監測(純度和雜質)
新能源電池
上海伯東提供可定制版本的質譜分析儀, 例如: 壓力控制進氣, 特殊進氣系統, 特殊外殼設計等, 滿足不同應用.
若您需要進一步的了解自研質譜詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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上海伯東版權所有, 翻拷必究!
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伯東企業(上海)有限公司
伯東公司成立于1953 年,從事半導體設備、電子零部件加工、銷售及相關服務工作。
重視以人為本的經營理念、與您密切合作,專業服務及時周到,我們為未來的技術提供支持,找到創新且節能的真空技術解決方案。
上海伯東 Pfeiffer 普發真空產品授權代理商,銷售維修普發 Pfeiffer
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提供世界一流的真空產品
上海伯東真空產品事業部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產品、推動中國真空工藝發展、承擔企業社會責任為經營理念,已累計為超過10,000家企業提供真空服務,覆蓋工業、半導體、鍍膜、科研和分析行業。