上海伯東德國 Pfeiffer 殘余氣體分析儀(四級桿質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智能操作于一體, 配置新一代的操作軟件 PV MassSpec, Pfeiffer 殘余氣體分析儀可定量定性評估真空系統中的殘余氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:
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型號 |
QMG 250 F1 |
QMG 250 F2 |
QMG 250 F3 |
QMG 250 M1 |
QMG 250 M2 |
QMG 250 M3 |
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檢測器 |
法拉第 Faraday (F) |
電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
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質量數 amu |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
1–100 |
1–200 |
1–300 |
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四極桿直徑／長度 |
6 / 125 mm |
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最小檢測極限 F hPa *1,2 |
4X10-13 |
5X10-13 |
7X10-13 |
- |
- |
- |
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最小檢測極限 M hPa *1,2 |
- |
- |
- |
3X10-15 |
4X10-15 |
5X10-15 |
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對Ar的靈敏度 F A/hPa*3 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
5X10-4 |
4X10-4 |
3X10-4 |
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最大工作壓力 F hPa |
5X10-4 |
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最大工作壓力 M hPa |
- |
- |
- |
5X10-5 |
5X10-5 |
5X10-5 |
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對臨近質量數的影響*1 |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
< 10 ppm |
< 20 ppm |
< 50 ppm |
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操作溫度 分析 |
200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
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操作溫度 電子 |
5 – 50 °C |
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烘烤溫度 分析 |
300 °C (移除電子模塊) |
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分辨率 |
1 ms - 16 s/amu (10% 峰高) |
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連接法蘭 |
DN 40 CF-F |
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保壓時間 |
1 ms – 16 s/amu |
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重量 |
2.5 kg |
3.2 kg |
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* 1 開放式離子源
* 2 停留時間 4秒
*3 與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度
上海伯東 Pfeiffer 殘余氣體分析儀 PrismaPro 應用場景
冷凍干燥: 硅油檢測
電池研發質控: 鋰電池產氣分析, 電池注液后泄露檢漏
鍍膜工藝: 鍍膜過程監控
尾氣分析: 汽車尾氣或燃料電池放氣(質譜法在線測試氫氣純度)
化工催化: 石油裂化催化劑
電子器件封裝: 電子元器件氣氛監測
真空炬氣氛: 碳化硅長晶-質譜在線監控
工業檢漏
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