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型號 |
腔體體積 |
腔體尺寸 |
托盤數量 |
托盤尺寸 |
托盤可用面積 |
前驅體數量 |
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Junior Nanofics® |
50L |
500mm x 400mm x 250mm |
1 |
360mm x 360mm x 40mm |
0.12㎡ |
1 |
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CD 600 Nanofics® |
282L |
900mm x 570mm x 550mm |
3 |
765mm x 512mm x 40mm |
0.39m² |
1 |
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CD 1000 Nanofics® |
490L |
1000mm x 700mm x 700mm |
3 |
858mm x 672mm x 40mm |
0.58m² |
1 |
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CD 600 PlasmaGuard® |
282L |
900mm x 570mm x 550mm |
3 |
765mm x 512mm x 40mm |
0.39m² |
3 |
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CD 1000 PlasmaGuard® |
490L |
1000mm x 700mm x 700mm |
3 |
858mm x 672mm x 40mm |
0.58m² |
3 |
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CD 1836 Nanofics® |
1836L |
1600mm x 850mm x 1350mm |
4（垂直） |
760mm x 270mm x 1060mm |
0.22m²（卡槽） |
1 |
超薄納米涂層等離子表面處理設備設計
控制系統: 工業 PLC 與17英寸觸摸屏
過程與儀表圖(P&ID): 實時顯示設備狀態
用戶管理: 基于用戶級別的登錄, 對于操作員來說,工程師模式接入
配方管理: 配方數量不限, 工藝參數獨特
系統診斷功能: 用于故障處理和維護
報警管理: 系統對警報進行管理并提醒操作人員
發電機: 具有自動負載匹配能力, 頻率 13.56 kHz
真空測量: 高質量的真空測量設備
氣體管道: 多個氣體管道, 適用于各種工藝氣體 (O2, N2, Ar, CF4, He, H2 等)
氣體截止閥: 每條氣體管路上的截止閥, 防止泄漏
質量流量控制器: 用于氣體控制的電子調節質量流量控制器
節流閥: 自動控制所需的壓力-流量比
洗滌系統: 廢氣過濾
CE 認證
上海伯東 Europlasma 等離子表面處理設備主要應用
1. 薄膜過濾: 鋰電池行業, 精密儀器等的疏水, 疏油涂層, 駐電極
2. 無紡布和功能性紡織物: 運動戶外產品的疏水, 疏油涂層
3. 可穿戴電子產品, 無線耳機, 手環, 手表, 助聽器和 PCB 元器件疏水涂層, 電子屏蔽涂層, 蝕刻, 清洗與活化
4. 醫療, 生命科學領域的微流控芯片疏水涂層, 醫用導管, 口罩, 針座活化, 人體植入, 細胞培養瓶活化. TC 處理.
