反應艙

材料: 鋁
有效尺寸: 1600 x 1350 x 850mm
容積：1836L
艙門: 裝有可視窗口
插槽: 4個  尺寸：1000 x 285mm，每個插槽可放多個285 x 756mm托盤

真空度測量

皮拉尼真空計

真空泵

干式真空泵泵組

頻射發生器

根據客戶應用需求定制

控制系統

PLC 可實現下列功能：
自動控制反應過程；
根據處理材料設定不同的處理工藝參數；
測定真空泵壓力, 抽真空時間, 充氣速度, 工作壓力, 處理時間, 溫度, 頻射發生器輸入電壓等指標；
監測所有的運行指標, 保證各項參數在設定范圍之內;
設定操作進入密碼.

電源

380V AC, 三相，50Hz, 63A

反應氣體

一個氣體輸入端口, 含氣體流量控制器 MFC

氣體輸入

直徑1/4英寸（6.45mm） 管道；輸入壓力：1Bar

尾氣排放

直徑 28mm 輸出端口

性能

急停開關；真空泵保護鎖；高溫保護鎖；CE認證。