提供三種規格滿足不同的濺射應用

規格

最大 V/I

KRI 直流磁控濺射電源 1.5kW

1000V, 4A

KRI 直流磁控濺射電源 1.0kW

1000V, 3A

KRI 直流磁控濺射電源 0.5kW

1000V ,2A