KRi 射頻等離子體源 RFp120-LRD

什么是 LRD ™
Load Resonance Drive™ 負(fù)載諧振驅(qū)動(dòng)模塊(LRD)安裝在等離子體源的大氣側(cè), 是美國(guó) KRi 推出的一款創(chuàng)新組件. 該模塊結(jié)合 KRi 自研專(zhuān)有控制算法與氮化鎵場(chǎng)效應(yīng)管(GaNFET)技術(shù), 實(shí)現(xiàn) DC-RF 直流直接轉(zhuǎn)射頻.

LRD 利用等離子源線圈與匹配電容的固有諧振特性, 對(duì)功率晶體管進(jìn)行軟開(kāi)關(guān)操作, 轉(zhuǎn)換效率高達(dá) 98% 以上. 由此帶來(lái)極快的控制響應(yīng)速度, 可對(duì)系統(tǒng)其余各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)節(jié).  LRD 無(wú)需射頻傳輸電纜以及獨(dú)立的阻抗匹配網(wǎng)絡(luò), 進(jìn)一步簡(jiǎn)化整機(jī)系統(tǒng)設(shè)計(jì).

美國(guó) KRi 研發(fā)團(tuán)隊(duì)推出的具有行業(yè)變革意義的功率輸出平臺(tái) - LRD 負(fù)載諧振驅(qū)動(dòng), 機(jī)柜占用空間可減少 50% 以上. 該技術(shù)讓離子源 / 等離子體源實(shí)現(xiàn)高效, 極穩(wěn)定運(yùn)行, 為行業(yè)提供區(qū)別于傳統(tǒng)射頻供電方案的全新選擇, 是 KRi 差異化核心技術(shù). 專(zhuān)利號(hào):**US 12,112,919**


KRi 射頻等離子體源 RFp120-LRD 和控制器

上海伯東美國(guó) KRi 創(chuàng)新型射頻等離子體源 RFp120?LRD, 為離子源的應(yīng)用和精密工藝發(fā)展帶來(lái)新的解決方案. 設(shè)備搭載KRi  Load Resonance Drive™(LRD 負(fù)載諧振驅(qū)動(dòng))技術(shù), 省去傳統(tǒng)射頻線纜與外置阻抗匹配網(wǎng)絡(luò), 轉(zhuǎn)換效率超 98%,兼具超快工藝響應(yīng), 易維護(hù), 運(yùn)行穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì), 適配精密光學(xué)鍍膜, 半導(dǎo)體, 材料表面處理等精密工藝.

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更新 : 2026-09-08

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