ph-instruments 磁懸浮轉子真空計 VIM-2(替代 MKS SRG-3 轉子規)基本參數

測量原理

SRG 旋轉轉子技術

測量范圍

10 mbar 至 5 x 10-7 mbar

精度

10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %;
0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數的 1 %

長期穩定性

< 每年 1.5 % 的漂移

接液材料管/球

1.4404, 1.4034

安裝方式

水平

模擬接口

USB Type C, 藍牙,15pin

數字接口

USB、藍牙、RS 232、RS 485

遠程控制

Win 7/10

工作溫度

電子元件 10 °C 至 40 °C
測量頭 10 °C 至 50 °C
傳感器管可烘烤至 150 °C 彈性體密封,450 °C 金屬密封

電源要求

18 ~28 VDC

模擬輸出

0 - 10 VDC 可配置

法蘭類型

KF 25, 8 VCR, 焊接


ph-instruments 磁懸浮轉子真空計 VIM-2 典型應用
一、作為計量級真空規, 用于真空計校準系統

磁懸浮轉子真空計 VIM-2 是一種長期穩定的高精度計量級真空規, 替代傳統真空計, 可滿足各種真空傳感器, 真空開關檢定或校準, 作為標準真空壓力源, SRG 轉子規廣泛應用于各品牌的高精度真空壓力校準系統. 實現工業, 科研, 半導體等領域的真空精密控制過程.
* 應用優勢: 計量和校準標準「NIST可追溯性」, 替代離子規, 薄膜規; 高精度測量的同時, 長期穩定性 < 每年 1.5 % 的漂移.

二、在低溫技術(真空隔熱)中的應用
真空隔熱是阻斷熱量傳遞的最優方案. 上海伯東代理德國 ph-instruments 磁懸浮轉子真空計 VIM-2 可在不破壞真空環境的前提下, 實現真空隔熱狀態的實時監測, 是低溫技術應用中的理想選擇.

液化氣體儲存運輸: 高性能真空絕熱結構與精密管控系統是液態儲氣的必備配置, 德國 ph-instruments 磁懸浮轉子真空計 VIM-2 全程監測運輸儲氣設備的真空絕熱性能, 維持氣體液態狀態, 避免因蒸發損耗造成氣體與經濟損失
低溫超導: 核磁共振設備采用真空絕熱超導磁體, 工作溫度為液氦溫區, 磁懸浮轉子真空計 SRG 技術可檢測絕熱真空度及其長期變化趨勢, 尤其適用于磁體常溫狀態下的生產制造環節與運維檢修場景.
* 應用優勢: 磁懸浮轉子真空計的傳感器與電子控制模塊分體式設計, 無電氣饋通結構無需開啟密封真空腔體進行時時測量.
ph-instruments 磁懸浮轉子真空計 VIM-2 替代 MKS SRG-3 轉子規


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更新 : 2026-07-16

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