上海某真空設(shè)備公司高精度真空計(jì)傳感器標(biāo)校系統(tǒng)應(yīng)用實(shí)例
使用上海伯東德國(guó) PH-Instruments SRG 磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī) VIM-2 替代傳統(tǒng)真空計(jì), 作為高精度真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)真空壓力源, 對(duì)諸如電容薄膜規(guī), 電離規(guī), 熱偶規(guī)等進(jìn)行檢定或校準(zhǔn).
SRG 計(jì)量級(jí)轉(zhuǎn)子規(guī)
校準(zhǔn)方法: 采用比對(duì)法校準(zhǔn)原理, 支持動(dòng)態(tài)比對(duì)和靜態(tài)比對(duì)兩種工作模式, 可在抽氣動(dòng)態(tài)平衡狀態(tài)和靜態(tài)密閉狀態(tài)下進(jìn)行壓力校準(zhǔn)

真空壓力校準(zhǔn)系統(tǒng)部分?jǐn)?shù)據(jù)

壓力范圍

測(cè)量不確定度

1*105~1*103 Pa

≤0.1%

1*103~1*10-1 Pa

≤1.0%

1*10-1~1*10-3 Pa

≤2.0%

1*10-3~1*10-4 Pa

≤5.0%


作為標(biāo)準(zhǔn)真空壓力源的上海伯東 ph-instruments 計(jì)量級(jí)轉(zhuǎn)子規(guī) VIM-2 基本規(guī)格

測(cè)量原理

SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子技術(shù)

測(cè)量范圍

10 mbar 至 5 x 10-7 mbar

精度

10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數(shù)的 10 %;
0.01 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數(shù)的 1 %

長(zhǎng)期穩(wěn)定性

< 每年 1 % 的漂移

接液材料管/球

1.4404, 1.4034

安裝方式

水平

模擬接口

USB Type C, 藍(lán)牙, 15pin

數(shù)字接口

USB, 藍(lán)牙, RS 232, RS 485

遠(yuǎn)程控制

Win 7/10

工作溫度

電子元件 10 °C 至 40 °C
測(cè)量頭 10 °C 至 50 °C
傳感器管可烘烤至 150 °C 彈性體密封,450 °C 金屬密封

電源要求

18 ~28 VDC

模擬輸出

0 - 10 VDC 可配置

法蘭類(lèi)型

KF 25, 8 VCR, 焊接


上海伯東德國(guó) ph-instruments 計(jì)量級(jí)轉(zhuǎn)子規(guī) VIM-2 應(yīng)用優(yōu)勢(shì)
全金屬設(shè)計(jì), 耐腐蝕和沉積, 提供適用于高溫真空環(huán)境的型號(hào)
高精度, 長(zhǎng)期穩(wěn)定, 無(wú)需校準(zhǔn)
計(jì)量和校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)「NIST可追溯性」
兼容性強(qiáng), 適配各種真空系統(tǒng)集成

上海伯東 SRG 計(jì)量級(jí)轉(zhuǎn)子規(guī)不僅僅定位為傳統(tǒng)真空計(jì)的替代品, 而是作為確保先進(jìn)制造制程中計(jì)量完整性的基礎(chǔ)技術(shù). 透過(guò)提供高度準(zhǔn)確和穩(wěn)定的測(cè)量, SRG 旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子真空計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)更嚴(yán)格的制程控制, 減少變異性, 適配更加嚴(yán)格的高精度真空壓力校準(zhǔn)系統(tǒng).

若您需要進(jìn)一步的了解 ph instruments 計(jì)量級(jí)轉(zhuǎn)子規(guī), 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式
上海伯東: 葉小姐
M: +86 1391-883-7267 
    
臺(tái)灣伯東: 王小姐
 M: +886-939-653-958
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伯東公司成立于1953 年,從事半導(dǎo)體設(shè)備、電子零部件加工、銷(xiāo)售及相關(guān)服務(wù)工作。 重視以人為本的經(jīng)營(yíng)理念、與您密切合作,專(zhuān)業(yè)服務(wù)及時(shí)周到,我們?yōu)槲磥?lái)的技術(shù)提供支持,找到創(chuàng)新且節(jié)能的真空技術(shù)解決方案。

上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商,銷(xiāo)售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品20余年,協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù)。擁有100%原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件,提供快速維修服務(wù)。

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提供世界一流的真空產(chǎn)品

上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國(guó)客戶提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動(dòng)中國(guó)真空工藝發(fā)展、承擔(dān)企業(yè)社會(huì)責(zé)任為經(jīng)營(yíng)理念,已累計(jì)為超過(guò)10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

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更新 : 2026-05-22

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