以檢漏儀 ASM 340 舉例, 常見問題如下
1. 新機開機分子泵不能到全速或檢漏只能在 gross 粗檢模式
2. 使用一段時間后, 檢漏儀只能到 gross 粗檢狀態
3. 開機顯示屏不亮, 只有前級泵在運行
4. 開機自檢, 自動校準失敗, 顯示讀數可能不準確
5. 開機分子泵只能加速到 10% 以下或出現分子泵高真空泵故障
6. 進入待機界面, 檢漏儀背景值跳動大
7. 檢漏儀底部有油
8. 檢漏儀運行一段時間后, 出現分子泵降速, 表面溫度高
9. 開機進入待機頁面后, 顯示讀數不準確
10. 檢漏時出現數值不準確
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