無論泄漏大小, 上海伯東 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀都能精確跟蹤
不論多大或多小的泄漏都逃不過真空檢漏儀的檢測. 不管是水, 油, 燃料, 制冷劑, 氣體, 蒸汽, 空氣或是真空的泄漏都能使用檢漏儀進行檢測. 從微型電子裝置到體積龐大的容器, 從真空系統逸出的介質到進入真空系統的氣體, 氦質譜檢漏儀所使用的范圍與普通工業產品的使用范圍一樣廣.

ASM 系列氦質譜檢漏儀能夠準確定位和量化泄漏, 提高整體工藝的輸出質量, 效率和可靠性. 無論是半導體制造業, 還是航空領域, 幾乎各個行業都能看到它的身影. 上海伯東根據您的實際應用需求, 提供合適的氦質譜檢漏方案, 并提供完善的技術, 售后服務支持. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>
 

主要型號

技術參數

上海伯東氦質譜檢漏儀推薦型號

型號

ASM 340

ASM 390

ASM 306S

ASM 310

ASI 35

圖片

pfeiffer 普發氦質譜檢漏儀 ASM 340

pfeiffer 普發氦質譜檢漏儀 ASM 390

pfeiffer 普發檢漏儀 ASM 306S

pfeiffer 便攜式檢漏儀 ASM 310

pfeiffer 普發檢漏模塊 ASI 35

特點

多功能多用途
前級泵可選油泵, 干泵或不配前級泵

大抽速移動式
無油前級泵

吸槍嗅探
無油前級泵

便攜式
無油前級泵

檢漏模塊

檢漏模式

真空
吸槍

真空
吸槍

吸槍

真空
吸槍

真空
吸槍

檢測氣體

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

4He, 3He, H2

最小檢測漏率 Pa m³/s

真空模式: 5x10-13
吸槍模式: 5x10-10
目前業界公認最小漏率

真空模式: 1X10-13

吸槍模式: 1X10-9

吸槍模式: 1X10-8

真空模式: 5X10-13

吸槍模式: 1X10-8

真空模式: 5x10-13
吸槍模式: 1.5x10-9

對氦氣的抽速 L/s

2.5

10

-

1.1

總泄露模式: 6

常規模式: 1.8

前級泵抽速 m3/h

油泵 15
干泵 3.4

35

-

1.7

-

進氣口最大壓力 mbar

25

20

-

15

總泄漏測試模式 18
高靈敏度模式: 0.2

常規模式: 1

進氣口

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

-

DN 25 ISO-KF

DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF

重量 kg

56

125

22

21

真空模塊 14.5，電子模塊 4.5 控制