德國普發分子泵 Pfeiffer TMH 系列常見問題
1. 真空度正常, 分子泵可以達到全速, 但是噪音大
2. 油棉污染: 油棉變黑, 發黃
3. 分子泵無法啟動: 用手撥動葉片, 葉片無法轉動
4. 分子泵異響
5. 分子泵無法達到全速, 真空度抽不下去
6. 分子泵返油: 多數是由于前級泵返油導致, 建議立即送修檢測
7. 無法啟動: 沒有供電, 控制器沒有響應, 沒有收到啟動信號, 轉子卡死或軸承損壞
8. 分子泵控制器報警
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