此 MBE 系統(tǒng)主要功能
最大 4英寸或 3個2英寸襯底
雙區(qū)域液氮冷屏
垂直腔室
可擴展多個工藝及分析腔室, 可集成多種分析儀器, 如 XPS, STM 等
超高真空 UHV 緩沖室
真空進樣室
真空度可到 2×10-10 torr
pfeiffer 普發(fā)分子泵組 Hicube 300

Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 300 Pro, 前級泵配置多級羅茨泵 ACP 15, 抽速 m3/h, 分子泵配置 HiPace 300, 抽速 260 l/s, 泵組“即插即用”, 清潔無油, 操作簡便, 泵組極限真空 < 1X10-8 hPa. 特別適合用于各類真空系統(tǒng)的搭建!

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上海伯東 Pfeiffer 普發(fā)真空產(chǎn)品授權(quán)代理商,銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品20余年,協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù)。擁有100%原裝進口維修設(shè)備和備品配件,提供快速維修服務(wù)。

專業(yè)銷售 維修團隊

國際知名真空品牌指定授權(quán)代理商,全權(quán)負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù),100% 原廠進口零部件及國外受訓維修工程師;擁有完全的拆解,維修,校正能力,24小時在線服務(wù)。

提供世界一流的真空產(chǎn)品

上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供世界一流的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念,已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù),覆蓋工業(yè)、半導(dǎo)體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。

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更新 : 2025-12-15

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