ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉子真空計

ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉子真空計在高真空測量中的優勢
長期穩定, 無需校準: 讀數隨時間漂移 <1% 每年
清潔, 對工藝無影響: 沒有內在的污染源, 真空計材質不銹鋼, 耐腐蝕
測量范圍廣: (1000) 100 至 5x10-7mbar 滿足不同應用
涂層/污染/溫度/磁場不敏感
快速響應時間
自主工作, 結構緊湊, 無故障, 方便系統集成
兼容性和靈活性:多種法蘭接口 CF40, KF25, 8VCR
方便使用: 故障分析診斷功能, 易于設置和控制,支持數據存儲, 24VDC 和電池供電

ph-instruments 高精度磁懸浮轉子真空計應用(替代離子規) 
高精度真空計校準系統: 提供真空計校準系統或單獨真空規
低溫真空絕熱:方便集成, 在線監測
半導體過程壓力測量(用于反應氣體或沉積): 離子注入, 刻蝕, CVD, PVD 等
ph-instruments SRG 高精度磁懸浮轉子真空計

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更新 : 2026-01-07

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