多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣柜應(yīng)用優(yōu)勢: ACP 28G 是耐腐蝕型多級羅茨干泵, 適用于半導(dǎo)體, 光伏, 面板等行業(yè)特氣柜的負(fù)壓抽真空, 吹掃置換, 泄漏捕捉與安全排氣場景設(shè)計(jì), 以無油潔凈, 防腐耐用, 穩(wěn)定可靠, 緊湊低耗, 長周期免維護(hù), 成為高危 / 高純特氣輸送系統(tǒng)的理想真空解決方案.

提供干燥, 無油, 潔凈的真空環(huán)境:
適用于腐蝕性氣體,氮?dú)獯祾吡髁?00  hPa(相對)超壓值
氣冷型, 更低能耗
符合 CE 標(biāo)準(zhǔn), 通過 UL/CSA 認(rèn)證, SEMI S2 等認(rèn)證
 

Pfeiffer 普發(fā)多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣柜典型應(yīng)用場景
- 氣瓶柜 / 特氣柜負(fù)壓維持, 泄漏抽除
- 管路與腔體真空吹掃, 氣體置換
- 有毒 / 腐蝕 / 自燃特氣安全排氣與尾氣前級抽送
- 高純氣體系統(tǒng)真空測漏, 保壓試驗(yàn)
 Pfeiffer 普發(fā)多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣柜應(yīng)用

Pfeiffer 普發(fā)多級羅茨泵 ACP 28 G 技術(shù)規(guī)格

不含氣鎮(zhèn)或吹掃的極限壓力, 最大值

4X10-2 hPa

典型的最終壓力, 帶氮?dú)獯祾? 50 Hz

2X10-1 hPa

冷卻類型

空氣(強(qiáng)制對流)

抽速

27 m³/h

氮?dú)饷芊鈿怏w流量

3.7 slpm (0 °C)

電子驅(qū)動(dòng)單元安裝類型

集成電子驅(qū)動(dòng)單元

電機(jī)類型

單相電機(jī)

輸入電壓

110-230 V AC (±10 %), 50/60 Hz

噪音值

65 dB(A)

連接法蘭(進(jìn)口)

DN 25 ISO-KF

重量(約)

30 kg

尺寸(長 x 寬 x 高)

647 x 193 x 322 mm


上海伯東 Pfeiffer 普發(fā) ACP 系列干式真空泵 (多級羅茨泵) , 采用非接觸式運(yùn)行設(shè)計(jì), 結(jié)合多級壓縮技術(shù), 轉(zhuǎn)子和定子之間不使用潤滑油和密封材料, 抽氣模塊無磨損件, 無顆粒產(chǎn)生, 有效保證多級羅茨泵實(shí)現(xiàn)無油, 無顆粒污染的干燥真空環(huán)境,  Pfeiffer ACP 系列干泵可作為分子泵的前級泵,  超長的使用壽命, 提供耐腐蝕型號供選擇.

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更新 : 2026-03-12

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