多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣柜應用優勢: ACP 28G 是耐腐蝕型多級羅茨干泵, 適用于半導體, 光伏, 面板等行業特氣柜的負壓抽真空, 吹掃置換, 泄漏捕捉與安全排氣場景設計, 以無油潔凈, 防腐耐用, 穩定可靠, 緊湊低耗, 長周期免維護, 成為高危 / 高純特氣輸送系統的理想真空解決方案.

提供干燥, 無油, 潔凈的真空環境:
適用于腐蝕性氣體,氮氣吹掃流量300  hPa(相對)超壓值
氣冷型, 更低能耗
符合 CE 標準, 通過 UL/CSA 認證, SEMI S2 等認證
 

Pfeiffer 普發多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣柜典型應用場景
- 氣瓶柜 / 特氣柜負壓維持, 泄漏抽除
- 管路與腔體真空吹掃, 氣體置換
- 有毒 / 腐蝕 / 自燃特氣安全排氣與尾氣前級抽送
- 高純氣體系統真空測漏, 保壓試驗
 Pfeiffer 普發多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣柜應用

Pfeiffer 普發多級羅茨泵 ACP 28 G 技術規格

不含氣鎮或吹掃的極限壓力, 最大值

4X10-2 hPa

典型的最終壓力, 帶氮氣吹掃, 50 Hz

2X10-1 hPa

冷卻類型

空氣(強制對流)

抽速

27 m³/h

氮氣密封氣體流量

3.7 slpm (0 °C)

電子驅動單元安裝類型

集成電子驅動單元

電機類型

單相電機

輸入電壓

110-230 V AC (±10 %), 50/60 Hz

噪音值

65 dB(A)

連接法蘭(進口)

DN 25 ISO-KF

重量(約)

30 kg

尺寸(長 x 寬 x 高)

647 x 193 x 322 mm


上海伯東 Pfeiffer 普發 ACP 系列干式真空泵 (多級羅茨泵) , 采用非接觸式運行設計, 結合多級壓縮技術, 轉子和定子之間不使用潤滑油和密封材料, 抽氣模塊無磨損件, 無顆粒產生, 有效保證多級羅茨泵實現無油, 無顆粒污染的干燥真空環境,  Pfeiffer ACP 系列干泵可作為分子泵的前級泵,  超長的使用壽命, 提供耐腐蝕型號供選擇.

若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發 ACP 系列干式真空泵 詳細信息或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐                                                臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )              M: +886-939-653-958

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更新 : 2026-03-12

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