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型號(hào) |
HiScroll 6 |
HiScroll 12 |
HiScroll 18 |
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進(jìn)氣口 |
DN 25 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
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抽速 m3/h |
6.1 |
12.1 |
18.1 |
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極限真空度 hPa |
1.5 X 10-2 |
6 X 10-3 |
6 X 10-3 |
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功耗 W |
170 |
210…280 |
210…280 |
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噪音 dB(A) |
48 |
47 |
47 |
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|
轉(zhuǎn)速 RPM |
42Hz / 2,500 min-1 |
26Hz / 1,560 min-1 |
26Hz / 1,560 min-1 |
|
|
Gasballast-flow (stage1/2) |
8,000 sccm |
12,000 sccm |
12,000 sccm |
|
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尺寸 mm |
380 x 227 x 257 |
419 x 265 x 304 |
419 x 265 x 304 |
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重量 kg |
19 |
24 |
23 |
適用于晶圓鍵合機(jī)真空系統(tǒng)的渦輪分子泵, 抽速 10-1900 l/s, 高氣流量, 高抽速, 占用空間小, 方便系統(tǒng)集成.
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型號(hào) |
HiPace 80 |
HiPace 300 |
HiPace 700 |
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進(jìn)氣口 |
DN 63 ISO-K |
DN 100 ISO-K |
DN 160 ISO-K |
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氮?dú)獬樗?l/s |
67 |
260 |
685 |
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最大極限真空度 hPa |
＜5X10-10 |
＜5X10-10 |
＜5X10-10 |
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|
電壓 ± 5 %, VDC |
24 |
24 |
48 |
|
|
噪音 dB(A) |
≤48 |
≤50 |
≤50 |
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|
轉(zhuǎn)速 RPM ± 2 % |
90000 |
60000 |
49200 |
|
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最大預(yù)抽真空 hPa |
22 |
15-22 |
11 |
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重量 kg |
2.4-3.8 |
5.8-8.7 |
10.6-16.5 |
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