Pfeiffer 全量程真空計 PKR 251 技術參數
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型號 |
接口 |
測量范圍 |
最大壓力 |
準確度 |
可重復性 |
輸出信號（測量信號） |
電源電壓 |
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PKR 251 |
DN25 ISO-KF |
5X10-9 至 1000 hPa |
10000 hPa, |
在 1X 10-8 至 100 hPa 范圍內約為 ± 30 % |
在 1 X 10-8 至 100 hPa 范圍內約為 ± 5 % |
電壓范圍 |
在真空計處 |
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Pfeiffer 普發全量程真空計 PKR 251 應用于6寸碳化硅外延爐
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