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型號 |
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真空模式對氦氣的最小檢測漏率 |
5X10-10 Pa m3/s |
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檢測模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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啟動時間 min |
3 |
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對氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
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進氣口最大壓力 hPa |
25 |
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前級泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
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重量 kg |
56 |
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