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型號(hào) |
ASM 340 W |
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真空模式下,對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
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檢測(cè)模式 |
真空模式和吸槍模式 |
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檢測(cè)氣體 |
4He, 3He, H2 |
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啟動(dòng)時(shí)間 min |
3 |
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對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s |
2.5 |
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進(jìn)氣口最大壓力 hPa |
25 |
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前級(jí)泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
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重量 kg |
56 |
經(jīng)過檢漏后的真空閥門, 廣泛用于半導(dǎo)體, 工業(yè), 科研精密儀器制造中的各類超高真空系統(tǒng), 經(jīng)過試驗(yàn), 成功替代進(jìn)口超高真空閥門, 打破進(jìn)口壟斷的市場(chǎng)格局.
結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>
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