氦質(zhì)譜檢漏儀超高真空閥門檢漏解決方案
閥門的密封性能是考核其品質(zhì)優(yōu)劣的主要指標(biāo)之一. 所以在設(shè)計(jì)生產(chǎn)閥門時(shí)就要提高閥門的密封性能, 上海伯東推薦使用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W 真空模式(負(fù)壓)檢漏.
1. 待檢漏真空閥門通過波紋管與氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)氣口相連. 設(shè)置真空模式下漏率值.
2. 用噴槍向疑似有漏的地方連續(xù)噴射氦氣. 如果有漏, 氦氣通過漏孔進(jìn)入檢漏儀并被檢測(cè),
3. 通過此方法, 可以快速定位定量泄漏點(diǎn), 操作非常簡(jiǎn)單
pfeiffer ASM340W 氦質(zhì)譜檢漏儀超高真空閥門檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W , 內(nèi)置高壓縮比分流式分子泵 Splitflow 80 對(duì)氦氣抽速 2.5 l/s, 檢測(cè)時(shí)間更短 (增強(qiáng)了清除氦本底的能力);  在 100 hPa 即可進(jìn)行大漏測(cè)試的氦質(zhì)譜檢漏儀.

pfeiffer 檢漏儀 ASM 340W

型號(hào)

ASM 340 W

真空模式下,對(duì)氦氣的最小檢測(cè)漏率

5E-13 Pa m3/s

檢測(cè)模式

真空模式和吸槍模式

檢測(cè)氣體

4He, 3He, H2

啟動(dòng)時(shí)間 min

3

對(duì)氦氣的抽氣速度 l/s

2.5

進(jìn)氣口最大壓力 hPa

25

前級(jí)泵抽速 m3/h

油泵 15

重量 kg

56


經(jīng)過檢漏后的真空閥門, 廣泛用于半導(dǎo)體, 工業(yè), 科研精密儀器制造中的各類超高真空系統(tǒng), 經(jīng)過試驗(yàn), 成功替代進(jìn)口超高真空閥門, 打破進(jìn)口壟斷的市場(chǎng)格局. 

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>

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上海伯東: 葉小姐                                                 臺(tái)灣伯東: 王小姐
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更新 : 2026-02-09

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