在 EBM 工藝中, 要達到所需的極限真空并保證過程中的真空度, 需要良好的泄漏密封性, 特別是在高真空內, 即使是微小泄漏也會阻礙真空度的達到. 對于 EBM 系統, 累積泄漏率一般需小于 1×10^-5 mbar. 傳統檢漏方式無法滿足, 因此需要氦質譜檢漏儀.

上海伯東電子束熔化 EBM 氦質譜檢漏解決方案
氦質譜檢漏可以通過多種方式執行: 一種方法是將 EMB 系統抽真空并用噴槍從外部, 密封點, 焊縫和其他潛在泄漏處噴吹氦氣. 如果有泄漏, 氦氣會流入抽空的真空室, 然后被檢漏儀吸入并檢測到. 為了實現較短的響應時間, 針對大型系統可選擇分子泵組搭配檢漏儀的方式進行檢漏.
電子束熔化 EBM 氦質譜檢漏

另一種方法是嗅探測試, 首先 EMB 系統用氦氣等示蹤氣體加壓. 然后, 使用氦質譜檢漏儀吸槍對系統懷疑有漏的地方進行嗅探, 發生泄漏時, 檢漏儀會發現逸出的示蹤氣體, 進而確定泄漏的位置. 由于 EBM 技術也需要添加氦氣, 因此該方法也可以用來保證氦氣的供應.
電子束熔化 EBM 氦質譜檢漏

如果您不僅需要測試系統, 還要測試打印的組件是否泄漏, 可采用累積檢測法. 將組件充滿示蹤氣體, 然后放置在真空測試室里. 如果發生泄漏, 示蹤氣體將從部件中逸出到測試室, 并被檢漏儀檢測到.
氦質譜檢漏儀應用于電子束熔化 EBM 工藝

適用于電子束熔化 EBM 檢漏的氦質譜檢漏儀規格

型號	ASM 340	ASM 390	ASM 310
圖片
特點	多功能多用途前級泵可選油泵, 干泵或不配前級泵	大抽速移動式無油前級泵	便攜式無油前級泵
檢漏模式	真空吸槍	真空吸槍	真空吸槍
檢測氣體	4He, 3He, H₂	4He, 3He, H₂	4He, 3He, H₂
最小檢測漏率 Pa m³/s	真空模式: 5x10^-13 吸槍模式: 5x10^-10 目前業界公認最小漏率	真空模式: 1X10^-13 吸槍模式: 1X10^-9	真空模式: 5X10^-13 吸槍模式: 1X10^-8
對氦氣的抽速 L/s	2.5	10	1.1
前級泵抽速 m3/h	油泵 15 干泵 3.4	35	1.7
進氣口最大壓力 mbar	25	20	15
進氣口	DN 25 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	DN 25 ISO-KF
重量 kg	56	125	21

上海伯東提供適用于電子束熔化 EBM 工藝的氦質譜檢漏儀, 也提供滿足真空系統快速抽空的渦輪分子泵, 旋片真空泵, 用于真空測量的真空規等

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

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