在許多應用中, 用戶都會面臨真空設備的清潔度問題. 了解殘余氣體的成分對于過程監控也非常重要. 真空壓力測量可以提供真空室中殘留污染物的數量, 但無法提供污染物的種類. 上海伯東殘余氣體分析儀 (四極桿質譜儀) 可用于進行殘留氣體分析, 確認腔室中殘留的污染物種類.

殘余氣體分析 RGA 是如何工作的？
與所有質譜儀一樣, 殘余氣體分析(四極桿質譜儀 )QMS 由三部分組成：離子源, 分析器和檢測器. 四極桿質譜儀的所有組件都需要高真空才能工作. 中性氣體粒子在離子源中電離. 常見的電離方法是電子撞擊電離.
pfeiffer 普發殘余氣體分析儀 RGA

以這種方式產生的離子在進入帶有四極電場的分析儀之前, 要先通過萃取透鏡. 利用高頻變化電壓和直接電壓組成的電壓, 在 4 根高精度金屬棒內產生電場. 這個四極場是根據離子的質量電荷比進行離子分辨的地方.

因此, 只有特定質量電荷比的離子才能通過金屬棒系統, 到達檢測器. 所有其他離子都位于不穩定的軌道上, 并在儀器中被分辨出來. 探測器的最簡單形式是一個被稱為法拉第杯的導電空心體. 離子通過釋放電荷被中和, 由此產生的電流被檢測到.

就信號強度而言, 法拉第杯足以在高真空環境中進行殘余氣體分析. 在超高真空范圍內存在極小離子電流或需要快速測量時, 通常會使用二次電子倍增器 (SEM). 利用這樣的質譜裝置, 用戶可以檢測出真空系統中還存在哪些物質.

真空要求: 壓力小于 10^-4hPa 的壓力, 離子才能通過帶有電動四極桿的分析儀. 這些壓力是確保平均自由路徑足夠長的必要條件, 以便離子按其軌跡到達檢測器, 而不會在途中發生碰撞. 要達到必要的真空壓力, 理想的方法是將前級泵和渦輪泵組合起來使用, 既可以是模塊化的, 也可以是即用型真空系統. 針對不同壓力范圍開發的進氣系統, 可使用戶根據殘余氣體分析(四極桿質譜儀 ) 精確調節壓力. 由于殘余氣體分析(四極桿質譜儀 ) 在過高的壓力下使用可能會損壞, 因此建議集成總壓測量功能.

上海伯東殘余氣體分析儀 RGA 真空應用: 四極桿質譜儀的潛在用途非常廣泛, 因此應用選項也非常多, 鑒于需要再真空下使用, 上海伯東推薦合適的質譜儀和真空系統.

殘余氣體分析儀	真空系統
殘余氣體分析儀 PrismaPro	渦輪分子泵 HiPace	隔膜泵 MVP	旋片泵 DuoVane	渦旋干泵 HiScroll

質量數 1–300 amu 最低可檢測分壓 3 X10-¹⁵ hPa 可直接連接真空計, 方便測量壓力	抽速 10 - 2300 l/s 使用壽命長,運行成本低結構緊湊	完全干式無油真空膜片使用壽命低噪音, 低振動出色的運行可靠性便于維護	抽速 5.5 - 19.5 m³/h 全球 IE2 電機高水蒸汽容量	體積小, 重量輕, 能耗低, 對水蒸氣環境抽氣真空度更優

殘余氣體分析儀應用于高溫真空爐, 實現質量保證和過程優化
推薦質譜型號: 上海伯東德國 Pfeiffer Hicube RGA 殘余氣體分析儀
客戶案例: 殘余氣體分析儀直接與高溫真空爐連接, 測試產品在不同溫度下揮發的產物變化, 進一步分析產品的耐用性以及使用形態. 實現真空過程相關的質量控制.
pfeiffer 普發殘余氣體分析儀 Hicube RGA

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