光探測器的檢漏方法可歸納入電子元件類檢測方法，即“背壓法”。由于電子元件體積小，且無法抽真空或直接充入氦氣，而氦檢漏又離不開氦氣作為示蹤氣體。這時需要通過一種間接的辦法“滲入”氦氣，具體做法如下。

1.將被檢電子元件放入保壓罐，壓力和時間根據漏率大小設定

2.取出電子元件，使用空氣或氮氣吹掃表面氦氣

3.將電子元件放入真空測試罐，如圖二，測試罐連接氦質譜檢漏儀

4.啟動氦質譜檢漏儀，開始檢測

ASM 氦質譜檢漏儀

圖二:真空測試腔

客戶在對比了 Varian by Agilent 同類型氦質譜檢漏儀之后，最終從抽速、檢測精度和市場口碑等方面確定了上海伯東氦質譜檢漏儀 ASM 340。

ASM 340 檢漏儀由德國 Pfeiffer 獨家設計和制造，其配備的 Pfeiffer 分子泵廣泛應用于友廠，如英福康 Inficon UL1000 檢漏儀、愛發科 Ulvac Heliot 檢漏儀、布魯克 Bruke 醫療設備、島津 Shimadzu 分析儀器等。

新款氦質譜檢漏儀 ASM 340 特點：
1. 前級泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h

2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦抽速 2.5 l/s

3. 檢漏精度：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸槍模式：5E-10 Pa m3/s

4. 移動式操作面板（有線、無線）

5. 集成SD卡，方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動，降低由操作失誤帶來的風險性

7. 豐富的可選配件，如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標準漏孔等

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

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