根據(jù)示蹤氣體流向, 氦質(zhì)譜檢漏法可分為真空法 (氣體流出工件), 吸槍法 (氣體流入工件) 兩大類, 上海伯東依據(jù)大量客戶實(shí)際應(yīng)用總結(jié)出常見(jiàn)六種氦檢方法:

1. 真空測(cè)漏法 / 噴槍（Vacuum Test: Spraying Test）
   1）可定位漏點(diǎn)
   2）精度很高
   3）氦氣消耗少 		  


真空測(cè)漏法是業(yè)內(nèi)最長(zhǎng)使用的一種檢漏方法, 廣泛應(yīng)用于精密儀器, 真空釬焊, 壓力容器等行業(yè)

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
應(yīng)用于 5G 基站銅連接器檢漏, 真空模式下, 漏率要求 5x10-11pa m3/s

  

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 390
應(yīng)用于航天領(lǐng)域的激光器零件檢漏, 中空夾層設(shè)計(jì),, 真空模式下, 焊縫處漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310
半導(dǎo)體用光刻機(jī)檢漏, 整機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空. 

  

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310
內(nèi)部集成紅外探測(cè)器的 2m3 杜瓦封裝器件, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s. 

 

2. 吸槍法（Sniffing Test）
    1）可定位漏點(diǎn)
    2）無(wú)需抽真空
    電廠檢漏一般使用吸槍法

  

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
應(yīng)用于氫燃料電池車的車載供氫系統(tǒng)檢漏, 氫氣儲(chǔ)存于高壓氣瓶中, 單個(gè)氣瓶泄漏出的氫氣濃度必須小于 6 ppm

 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
對(duì)電廠管道, 汽輪機(jī), 冷凝器等進(jìn)行檢漏, 吸槍模式下, 漏率值要求 10-6 mbar

 

3. 真空累積測(cè)漏（Integral Vacuum Test）
   1）精度極高
   2）測(cè)整體泄露量
   3）易于在線檢測(cè)
   4）重復(fù)性高		  
 
 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
采用真空模式檢漏, 消防器材鋼瓶?jī)?nèi)部沖有一定壓力的氮氦混合氣體, 氦氣約占 5%的量

 

 
4. 背壓法（Vacuum Test: Bombing Test）
    1）密封器件的指定檢測(cè)方法
    2）高重復(fù)性  		  
 
 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
應(yīng)用于光通訊設(shè)備的封裝激光芯片檢漏, 激光芯片在 Box 內(nèi)進(jìn)行封裝, 封裝完成后的激光芯片漏率要求小于 5×10-8mbar l/s

 

 
 
5. 真空累積法（Integral test of enclosed parts under vacuum）
   1）易于自動(dòng)化檢測(cè)
   2）精度極高
   3）高重復(fù)性		  
 

氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340
新能源電動(dòng)汽車鋰電池外殼檢漏. 漏率要求 3.5 x10-4 pa.m3/s, 氦質(zhì)譜檢漏儀集成在生產(chǎn)線中完成檢漏

 

 
6. 常壓吸槍累積法（Sniffing test: Integral test at atmospheric pressure）
    1）易于在線檢測(cè)
    2）無(wú)需抽真空		  
常壓吸槍累積法廣泛應(yīng)用于航空航天領(lǐng)域


結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負(fù)壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 在提供無(wú)損檢漏的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點(diǎn). 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC. 上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用案例 >>

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氦質(zhì)譜檢漏儀六種常見(jiàn)檢漏方法

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更新 : 2026-02-09

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