1. 給軸承降溫, 延長了分子泵的使用壽命
2. 減少軸承滾珠磨損
3. 清洗分子泵軸承, 避免污染物附著在軸承上
脂潤滑不具備以上優點, 而且易殘留, 容易導致分子泵的故障率高
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上海伯東 HiPace 系列渦輪分子泵技術規格
|
型號 |
進氣口 DN |
壓縮比 |
極限真空 hPa |
抽速 l/s |
|||||||||
|
N2 |
He |
H2 |
Ar |
N2 |
He |
H2 |
Ar |
||||||
|
HiPace 10 |
25 |
3X106 |
3X103 |
3X102 |
2.5X108 |
< 5X10-5 |
10 |
6 |
3.7 |
11.5 |
|||
|
HiPace 80 |
40 /63 |
1X1011 |
1.3X107 |
1.4X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
67 |
58 |
48 |
66 |
|||
|
HiPace 300 |
100 |
1X1011 |
1X108 |
9X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
260 |
255 |
220 |
255 |
|||
|
HiPace 700 |
160 |
>1X1011 |
3X107 |
14X105 |
1X1011 |
< 5X10-10 |
685 |
655 |
555 |
665 |
|||
|
HiPace 1200 |
200 |
>1X108 |
2X104 |
6X103 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1250 |
1300 |
1100 |
1200 |
|||
|
HiPace 2300 |
250 |
>1X108 |
3X105 |
2X104 |
>1X108 |
< 5X10-10 |
1900 |
2000 |
1850 |
1800 |
|||
極限真空為實驗室理想值
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上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認證. 特別適用于質譜分析, 電子顯微術, 測量技術, 粒子加速和等離子體物理方面的應用. 除了用于分析, 真空工藝和半導體技術外, 還可用于真空鍍膜, 研發以及工業領域.
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導體制造和分析應用提供更優的解決方案.
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上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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上海伯東版權所有, 翻拷必究!
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