影響壓縮比數(shù)值的因素: 氣體類型和渦輪分子泵內(nèi)部設(shè)計(jì)
壓縮比取決于幾個(gè)因素. 最重要的因素是氣體類型和渦輪分子泵的設(shè)計(jì). 渦輪分子泵的抽吸作用是基于從高真空側(cè)流動(dòng)到前真空側(cè)的氣體粒子多于從前真空側(cè)流動(dòng)到高真空側(cè)的氣體粒子. 通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片快速旋轉(zhuǎn)對(duì)目標(biāo)粒子進(jìn)行加速來(lái)實(shí)現(xiàn)的, 氣體越輕, 其分子運(yùn)動(dòng)的速度就越快 ( 如下圖 ):

各種氣體的分子質(zhì)量和平均速度

對(duì)于較輕的氣體分子, 其向高真空側(cè)的回流速度因此高于較重的氣體分子. 由于存在較輕的氣體分子, 因此高真空側(cè)存在更多的氣體粒子. 這里的壓力會(huì)相對(duì)較高, 而壓縮比較低 ( 如下圖, 以上海伯東 Pfeiffer 分子泵 HiPace 300 舉例 )

上海伯東德國(guó) Pfeiffer 渦輪分子泵內(nèi)部設(shè)計(jì)
根據(jù)生產(chǎn)商的不同, 分子泵抽吸原理也會(huì)有所不同, 這些泵級(jí)被稱為 “Holweck”, “Gaede” 或 “Siegbahn”級(jí). 在極少數(shù)情況下還會(huì)使用側(cè)槽泵級(jí). Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列內(nèi)置 Holweck 泵級(jí), 與其他類型對(duì)比,如下圖所示, Holweck 泵級(jí)能夠更高效地把非常輕的氣體抽入更高壓力區(qū), 具有高壓縮比的渦輪分子泵比低壓縮比的渦輪分子泵更能獲得相對(duì)較低的極限壓力.

上海伯東 HiPace 系列渦輪分子泵技術(shù)規(guī)格

極限真空為實(shí)驗(yàn)室理想值


上海伯東 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認(rèn)證. 特別適用于質(zhì)譜分析, 電子顯微術(shù), 測(cè)量技術(shù), 粒子加速和等離子體物理方面的應(yīng)用. 除了用于分析, 真空工藝和半導(dǎo)體技術(shù)外, 還可用于真空鍍膜, 研發(fā)以及工業(yè)領(lǐng)域.
上海伯東銷售維修 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 系列憑借緊湊結(jié)構(gòu)和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應(yīng)用.HiPace 渦輪分子泵采用混合或磁懸浮軸承系統(tǒng), 確保低噪音和低振動(dòng)運(yùn)行. 此外,  渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號(hào), 包括針對(duì)氫氣等輕質(zhì)氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕涂層的型號(hào). 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發(fā)渦輪分子泵 HiPace 為涂層, 半導(dǎo)體制造和分析應(yīng)用提供更優(yōu)的解決方案.

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渦輪分子泵的壓縮比定義

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