離子束加工需要真空條件
離子束加工利用具有較高能量的離子束射到材料表面時所發生的撞擊效應, 濺射效應和注入效應來進行不同的加工. 由于離子束轟擊材料是逐層去除原子, 所以可以達到納米級的加工精度.
離子束加工是在真空條件下先由電子槍產生電子束, 再引入已抽成真空且充滿惰性氣體的電離室中, 使低壓惰性氣體離子化. 由負極引出陽離子又經加速, 集束等步驟, 獲得具有一定速度的離子投射到材料表面, 產生濺射效應和注入效應. 由于離子帶正電荷, 其質量比電子大數千, 數萬倍. 所以離子束比電子束具有更大的撞擊動能, 通過微觀的機械撞擊能量進行加工. 上海伯東 Pfeiffer 普發真空泵目前廣泛應用于高精度表面加工應用中.
Pfeifer 普發高精度表面加工客戶案例: 某國際知名生產各種規模離子束加工設備廠商, 其生產的設備不僅應用于天文學, 還用于 EUV 光刻技術和傳統的光學應用. 其代表設備用于加工天文大規格透鏡, 真空腔室配置羅茨泵組和分子泵, 在非常短的時間內提供 10-6 hPa 真空, 加工過程不會在表面上留下任何痕跡或張力, 并且幾乎可以加工任何幾何形狀或材料.
真空系統配置
|
|
|
|
羅茨泵組 CombiLine
單級旋片泵 Hena 300 抽速:300 m3/h
羅茨泵 Okta 1000 抽速:1070 m3/h
|
渦輪分子泵 HiPace 2300
接口: DN 250 CF-F
氮氣抽速:1900 l/s
|
上海伯東 Pfeiffer Vacuum 德國普發真空產品代理商, 銷售維修普發 Pfeiffer 真空產品已余20年. 可協助客戶選型并提供完善的售后維修服務. 擁有100% 原裝進口維修設備和備品配件, 提供快速維修服務.
若您需要進一步的了解 Pfeiffer 普發真空泵詳細信息
請聯絡上海伯東: 葉女士 M: 13918837267(微信同號)
上海伯東 Pfeiffer 普發真空泵在高精度表面加工中的應用
