對(duì)示蹤氣體的要求:
1. 無毒害: 不能對(duì)人體, 環(huán)境, 被檢件, 檢漏儀造成污染, 傷害或是存在安全隱患;
2. 質(zhì)量輕, 惰性氣體, 能穿透微小細(xì)縫;
3. 化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定, 不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)或易燃易爆;
4. 最好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體, 才能滿足檢漏靈敏度方面的要求.

示蹤氣體種類
1. 氫氣 H2
2. 氦3（氦氣同位素氣體)
3. 氦4（He4 ）

目前, 全世界絕大部分氦質(zhì)譜檢漏儀的示蹤氣體采用的是氦氣
一般檢漏都用氦氣 He 作為示蹤氣體, 也有用氫氣 H2 作為示蹤氣體的. 氫和氦都是比較理想的示蹤氣體: 空氣中的含量少, 質(zhì)量輕, 運(yùn)動(dòng)速度快, 同等條件下, 直線運(yùn)動(dòng)距離長. 實(shí)際使用中, 也相對(duì)比較容易獲取, 可以大量使用. 但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實(shí)際大部分檢漏使用的是氦氣.

上海伯東 Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體, 主要原因如下
1. 氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極少 (在空氣中約含5.2ppm), 在材料出氣中也很少, 因此本底壓力小, 輸出的本底電流也小. 正因?yàn)楸镜仔? 由某些原因引起本底的波動(dòng), 亦即本底噪聲也就小,因此微小漏率也就能反應(yīng)出來.靈敏度高.
2. 氦的質(zhì)量小 (相對(duì)分子質(zhì)量為4) , 易于穿過漏孔. 這樣, 氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大, 容易發(fā)現(xiàn), 靈敏度高.
3. 氦是惰性氣體, 不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng), 不會(huì)污染被檢件, 使用安全.
4. 在氦兩側(cè)的是氫 (質(zhì)荷比為2) 和雙電荷原子碳 (質(zhì)荷比為6) , 質(zhì)荷比都與氦相差較大. 這樣, 它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大, 容易分開. 定標(biāo)找氦峰時(shí), 不易受其他離子的干擾, 因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求, 易于加工. 同時(shí), 分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大, 使更多的氦離子通過, 提高了儀器靈敏度.
5. 氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附, 這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏, 提高了儀器的檢漏效率.

結(jié)合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質(zhì)譜檢漏儀的技術(shù)優(yōu)勢(shì), 上海伯東普發(fā) Pfeiffer 提供氦質(zhì)譜檢漏儀完整的產(chǎn)品線, 從便攜式檢漏儀到檢漏模塊, 滿足各種應(yīng)用. 氦質(zhì)譜檢漏儀與傳統(tǒng)泡沫檢漏和壓差檢漏對(duì)比, 利用氦氣作為示蹤氣體可精確定位, 定量漏點(diǎn). 提供無損泄露檢測(cè)的同時(shí)可以檢測(cè)出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s 并提供泄露數(shù)據(jù), 數(shù)據(jù)可用于改善生產(chǎn)工藝. 氦質(zhì)譜檢漏儀滿足單機(jī)檢漏, 也可集成在檢漏系統(tǒng)或 PLC.

上海伯東檢漏儀推薦型號(hào)

型號(hào)	ASM 340	ASM 390	ASM 306S	ASM 310	ASI 35
圖片
特點(diǎn)	多功能多用途前級(jí)泵可選油泵, 干泵或不配前級(jí)泵	大抽速移動(dòng)式無油前級(jí)泵	吸槍嗅探無油前級(jí)泵	便攜式無油前級(jí)泵	檢漏模塊
檢漏模式	真空吸槍	真空吸槍	吸槍	真空吸槍	真空吸槍
檢測(cè)氣體	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
最小檢測(cè)漏率 Pa m³/s	真空模式: 5x10^-13 吸槍模式: 5x10^-10 目前業(yè)界公認(rèn)最小漏律	真空模式: 1X10^-13 吸槍模式: 1X10^-9	吸槍模式: 1X10^-8	真空模式: 5X10^-13 吸槍模式: 1X10^-8	真空模式: 5x10^-13 吸槍模式: 1.5x10^-9
對(duì)氦氣的抽速 L/s	2.5	10	-	1.1	總泄露模式: 6 常規(guī)模式: 1.8
前級(jí)泵抽速 m3/h	油泵 15 干泵 3.4	35	-	1.7	-
進(jìn)氣口最大壓力 mbar	25	20	-	15	總泄漏測(cè)試模式 18 高靈敏度模式: 0.2 常規(guī)模式: 1
進(jìn)氣口	DN 25 ISO-KF	DN 40 ISO-KF	-	DN 25 ISO-KF	DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF
重量 kg	56	125	22	21	真空模塊 14.5，電子模塊 4.5 控制面板 1.5

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上海伯東: 葉小姐臺(tái)灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號(hào) ) T: +886-3-567-9508 ext 161
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氦質(zhì)譜檢漏儀為什么選擇氦氣作為示蹤氣體

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