高溫真空燒結爐氦質譜檢漏法:
金屬 (粉末) 燒結工作一般都采用的是真空環境燒結, 常用設備為真空燒結爐, 真空燒結爐的構成部分包括爐體, 真空系統, 電氣系統, 冷卻系統等. 其中爐體和真空系統與真空燒結爐的漏率息息相關. 當爐體與真空系統裝配完畢后, 無論其密封如何可靠, 一般來說總是有漏氣存在的. 真空燒結爐的漏率越小越好, 因為它能夠影響爐體的極限真空度, 保證工件在燒結過程中氧雜質不會增多.

常見泄露檢測部位:
1. 機械泵, 羅茨泵, 擴散泵等真空泵組泄漏
2. 冷凝器內毛細管及毛細管與法蘭連接處泄漏
3. 真空管道與彎頭連接處及管道之前焊接處泄漏
4. 真空閥門本身及其與管道連接處泄漏

真空燒結爐多采用檢漏儀的負壓模式即真空模式檢漏, 將氦質譜檢漏儀與真空系統連接, 最好連接在排氣口附近 (也就是泵組的進氣口處), 真空系統都會有泵組在抽真空, 所以在泵的進氣口處連接氦質譜檢漏儀是在氣流的運動方向上, 很容易有一部分分壓分給氦質譜檢漏儀, 從而達到檢漏的效果.
氦質譜檢漏儀高溫真空燒結爐氣密性泄露檢測
 

結合了 Pfeiffer 與 Adixen 兩家氦質譜檢漏儀的技術優勢, 上海伯東普發 Pfeiffer 提供氦質譜檢漏儀完整的產品線, 從便攜式氦質譜檢漏儀到檢漏模塊, 提供負壓檢漏 (真空法) 和正壓檢漏(吸槍法), 滿足各種應用. 氦質譜檢漏儀與傳統泡沫檢漏和壓差檢漏對比, 在提供無損檢漏的同時可以檢測出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦氣作為示蹤氣體定位, 定量漏點. 氦質譜檢漏儀滿足單機檢漏, 也可集成在檢漏系統或 PLC. 上海伯東氦質譜檢漏儀應用案例 >>

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更新 : 2026-02-09

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